[发明专利]一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台

权利要求书

1.一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于，包括Z轴移动模块（1）、XY轴移动模块（2）、Z轴转动模块（3）和XY轴转动模块（4），其中：所述Z轴移动模块（1）中设置有Z轴移动机构（12）；

所述XY轴移动模块（2）连接在所述Z轴移动模块（1）的顶部，所述XY轴移动模块（2）中设置有XY轴移动机构（21）；

所述Z轴转动模块（3）连接在所述XY轴移动模块（2）的顶部，所述Z轴转动模块（3）中设置有Z轴转动机构（31）；

所述XY轴转动模块（4）连接在所述Z轴转动模块（3）的顶部，X所述XY轴转动模块（4）中设置有XY轴转动机构（41）；

所述Z轴移动机构（12）、所述XY轴移动机构（21）、所述Z轴转动机构（31）和所述XY轴转动机构（41）均为柔性机构。

2.根据权利要求1所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述Z轴移动模块（1）还包括底座（11）、第一驱动机构（13）、弹簧（14）和平台连接件（15）；

所述第一驱动机构（13）的底部与所述底座（11）相连接并且其顶部与所述平台连接件（15）相连接；

所述Z轴移动机构（12）的数量为两组，两组所述Z轴移动机构（12）对称设置在所述第一驱动机构（13）的两侧，所述Z轴移动机构（12）的底部与所述底座（11）相连接并且其顶部与所述平台连接件（15）相连接；

所述弹簧（14）连接在所述Z轴移动机构（12）与所述平台连接件（15）之间；

所述平台连接件（15）与所述XY轴移动模块（2）相连接。

3.根据权利要求1所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述XY轴移动模块（2）还包括第二驱动机构安装件（22）和第二驱动机构（23），所述第二驱动机构（23）通过所述第二驱动机构安装件（22）固定于所述XY轴移动机构（21）上。

4.根据权利要求3所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述XY轴移动机构（21）分别与所述Z轴移动模块（1）和所述Z轴转动模块（3）相连接，所述XY轴移动机构（21）为并联两自由度运动机构，其两个自由度的运动分别由两个所述第二驱动机构（23）驱动。

5.根据权利要求1所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述Z轴转动模块（3）还包括连接件（32）、第三驱动机构（33）和第三驱动机构安装件（34），所述连接件（32）的底部与所述XY轴移动模块（2）相连接，所述连接件（32）的顶部与所述Z轴转动机构（31）相连接，所述第三驱动机构（33）通过所述第三驱动机构安装件（34）固定于所述Z轴转动机构（31）上。

6.根据权利要求1所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述XY轴转动模块（4）还包括第四驱动机构（42）、输出杆（43）和固定平台（44）；

所述固定平台（44）与所述Z轴转动模块（3）相连接；

所述XY轴转动机构（41）的数量为两个，两个所述XY轴转动机构（41）呈正交对称布置，每个XY轴转动机构（41）的顶端均与所述固定平台（44）相连接；

每个XY轴转动机构（41）均对应有一个所述第四驱动机构（42），所述第四驱动机构（42）固定于所述XY轴转动机构（41）的旋转中心处；

所述输出杆（43）的两端各与一个所述XY轴转动机构（41）的输出端相连接。

7.根据权利要求6所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述XY轴转动机构（41）中设置有第一点位（411）、第二点位（412）、第三点位（413）和第四点位（414），所述第一点位（411）、所述第二点位（412）、所述第三点位（413）和所述第四点位（414）共同构成了一个平行四边形。

8.根据权利要求7所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述第一点位（411）处和所述第四点位（414）处均设置有解耦结构。

9.根据权利要求8所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述解耦结构为柔性虎克铰。