[发明专利]一种高度集成的宽角度光纤气动探针

权利要求书

1.一种高度集成的宽角度光纤气动探针，其特征在于，包括探头(1)和支杆(2)，所述探头(1)与支杆(2)的一端连接形成探针，所述探头(1)呈半球形结构，所述探头(1)的表面开设有气孔，所述探头(1)内部设置有气体通道，所述气体通道与气孔连通，所述气体通道内均设置有光纤传感器，所述支杆(2)的内部设置有光纤通道(202)和定位平面(201)，所述光纤通道(202)与探头(1)内的气体通道连通，所述光纤通道(202)内设置有光纤，所述光纤与外界光源、光谱分析仪相连，所述光纤通道(202)之间相互独立密闭；所述探头(1)的表面设置有多个气孔；所述探头(1)、支杆(2)和光纤通道(202)的材质均为不锈钢，具有良好的圆度和直线度；

所述光纤传感器为光纤Fabry-Perot传感器；

所述光纤Fabry-Perot传感器由光纤微泡，F-P腔和单模光纤组成，光纤微泡和SMF镀以高反射膜，光纤微泡与SMF构成的F-P腔长度为L，微泡端面与SMF端面严格平行，当入射光从SMF一端射入，在光纤微泡端面反射，反射光与SMF的入射光相遇，将形成光波干涉，气孔与光纤微泡相连，当气体进入气孔，压力将导致光纤微泡产生震动，微泡端部震动导致F-P腔长度L发生改变，引起光波干涉发生改变，改变的参量与腔长度L相关，由此将测压孔感受的压力引致光纤F-P传感器进行测量。

2.根据权利要求1所述一种高度集成的宽角度光纤气动探针，其特征在于，所述探头(1)球体最宽处半径大于与圆柱体的支杆(2)连接的截面半径，充分利用探头(1)的空间，集成五个角度。

3.根据权利要求1所述一种高度集成的宽角度光纤气动探针，其特征在于，所述的光纤微泡直径为400-600μm，气孔直径为400-600μm，探针直径为1-3㎜，实现了探针的小型化。

4.根据权利要求1所述一种高度集成的宽角度光纤气动探针，其特征在于，所述探头(1)的表面设置有五个气孔，所述探头(1)的内部设置有五个气体通道，所述探头(1)的表面半径为d，五个气孔半径分别为d/4，中心孔与四个孔间的垂直距离为d/12。