[发明专利]一种单晶炉热场升级的装置及方法

权利要求书

1.一种单晶炉热场升级的装置，包括由上至下依次设置的炉盖（1）、大直径主炉室（2）、大直径下炉体（3）和炉底盘（4），其特征在于：

炉盖（1）和大直径主炉室（2）之间连接一个过渡法兰（5），大直径下炉体（3）和炉底盘（4）之间连接一个法兰缩颈（6）；

所述过渡法兰（5）的内径与炉盖（1）的内腔直径相同，其上表面与炉盖（1）的下端相连，过渡法兰（5）的外径与大直径主炉室（2）的外径相同，且其下表面与大直径主炉室（2）的上端相连，大直径主炉室（2）内径大于炉盖（1）的内腔直径；

所述法兰缩颈（6）的外径与大直径下炉体（3）的外径相同，其上表面与大直径下炉体（3）的下端相连，法兰缩颈（6）的内径小于炉底盘（4）的外径，且其下表面与炉底盘（4）的上端相连，炉底盘（4）的外径小于大直径下炉体（3）内腔直径；

大直径主炉室（2）的直径与大直径下炉体（3）的直径相同，且二者的轴线相互重合。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉热场升级的装置，其特征在于：

所述大直径主炉室（2）为筒状结构，筒体的上、下端均设有第一凸缘（2a），且筒体的上端面设有密封条。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉热场升级的装置，其特征在于：

所述大直径下炉体（3）为筒状结构，筒体的上、下端设有第二凸缘（3a），第二凸缘（3a）的外径与大直径主炉室（2）的第一凸缘（2a）外径相同，且筒体的上、下端面均设有密封条。

4.根据权利要求2所述的用于单晶炉热场升级的装置，其特征在于：

所述过渡法兰（5）为板状环形结构，且其外径与大直径主炉室（2）的第一凸缘（2a）外径相同。

5.根据权利要求3所述的用于单晶炉热场升级的装置，其特征在于：

所述法兰缩颈（6）为板状环形结构，且其外径与大直径下炉体（3）的第二凸缘（3a）外径相同，法兰缩颈（6）与炉底盘（4）的接触面上设有密封圈。

6.根据权利要求1~5任一项所述的用于单晶炉热场升级的装置，其特征在于：

所述过渡法兰（5）的轴线与炉盖（1）和大直径主炉室（2）的内腔轴线均相互重合。

7.根据权利要求1~5任一项所述的用于单晶炉热场升级的装置，其特征在于：

所述法兰缩颈（6）的轴线与大直径下炉体（3）和炉底盘（4）的轴线均相互重合。

8.一种使用如权利要求1所述装置进行单晶炉热场升级的方法，具体步骤如下，其特征在于：

步骤一：更换大直径下炉体（3），将法兰缩径（6）安装在原有的炉底盘（4）上方，将大直径下炉体（3）安装在法兰缩径（6）的上方；

步骤二：在大直径下炉体（3）的上方安装大直径主炉室（2），大直径主炉室（2）的直径与大直径下炉体（3）的直径相同；

步骤三：在大直径主炉室（2）的上方安装过渡法兰（5），过渡法兰（5）的一端与大直径主炉室（2）连接，另一端与原有的炉盖（1）连接；步骤四：改造大直径主炉室（2）的提升装置，使其与更换后大直径主炉室（2）匹配，改造提升装置的悬臂段长度、卡抓位置和提升行程。