[发明专利]一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置

权利要求书

1.一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，其特征在于：包括底架(1)、底盖板(2)、反射镜(5)、立柱(10)、前辐板(19)、托板(20)、前辐板固定组件(21)、前辐板支撑组件(22)、二维平台组件、位姿测量组件、配重调节组件、位姿调整组件；所述位姿测量组件测量支架(3)和非接触传感器(4)组成，用于测量装调过程中反射镜(5)的位姿倾角；所述配重调节组件由调整模组(12)、定滑轮(13)、配重块(15)、配重调节绳(16)、柔性吸附头(18)组成，用于根据不同的配重抵消反射镜(5)自重引起的变形；所述位姿调整组件由调整模组(12)、压电陶瓷致动器(11)、位姿调整杆(17)、柔性吸附头(18)组成，用于通过柔性吸附头(18)形成的柔性真空吸附来减小对反射镜(5)调整引起的变形；所述二维平台组件由L形底板(6)、X向运动模组(7)、中间支板(8)、上支板(9)、Y向运动模组组成(14)构成，用于实现对反射镜(5)的在二维平面范围内的整体移动式对中调节；所述前辐板固定组件(21)，用于对托板(20)的固定作用，以便减小前辐板(19)在作用力施加和卸载前后本身的不可逆形变，进而减小反射镜(5)的装调后的变形。

2.如权利要求1所述的一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，其特征在于：所述前辐板支撑组件(22)由支撑底板(221)，支撑悬臂(222)，锁紧螺母(223)，锁紧螺柱(224)，高精度力传感器(225)，微调装置(226)，微调支撑(227)组成，用于实现对其支撑托板(20)及其承载物件重量的高精度测量，并通过微调装置(226)的微调作用，完成托板(20)在水平面内位置的精密调整。