[发明专利]用于感应耦合等离子体（ICP）负载的双频匹配电路

权利要求书

1.一种双频匹配电路，包括：

第一输入端口，被配置为在第一频率接收RF功率；

第二输入端口，被配置为在第二频率接收RF功率，所述第二频率不同于所述第一频率；

匹配电路，提供在统一的物理外壳中，所述匹配电路包括：

第一电路部分，包括一个或多个第一调谐元件，被配置为接收在所述第一输入端口的RF功率并为第一负载提供阻抗匹配；以及

第二电路部分，包括一个或多个第二调谐元件，被配置为接收在所述第二输入端口的RF功率并为第二负载提供阻抗匹配；

第一输出端口，耦合到所述匹配电路的所述第一电路部分，并被配置为在所述第一频率向所述第一负载提供第一输出信号；以及

第二输出端口，耦合到所述匹配电路的所述第二电路部分，并被配置为在所述第二频率向所述第二负载提供第二输出信号。

2.根据权利要求1所述的双频匹配电路，所述匹配电路包括：

第一旁路滤波元件，提供在所述第一输入端口和所述一个或多个第一调谐元件之间，所述第一旁路滤波元件被配置为过滤掉泄漏到所述第一电路部分的在所述第二频率的剩余功率；以及

第二旁路滤波元件，提供在所述第二输入端口和所述一个或多个第二调谐元件之间，所述第二旁路滤波元件被配置为过滤掉泄漏到所述第二电路部分的在所述第一频率的剩余功率。

3.根据权利要求2所述的双频匹配电路，其中：

所述第一旁路滤波元件包括电感器；以及

所述第二旁路滤波元件包括电容器。

4.根据权利要求2所述的双频匹配电路，其中，所述一个或多个第一调谐元件和所述一个或多个第二调谐元件中的每一个分别包括并联电容器和串联电容器。

5.根据权利要求4所述的双频匹配电路，其中，所述一个或多个第一调谐元件和所述一个或多个第二调谐元件中的每一个分别包括串联电感器。

6.根据权利要求4所述的双频匹配电路，其中：

在所述第一电路部分中的所述并联电容器定位于在所述第一电路部分中的所述第一旁路滤波元件和所述串联电容器之间；以及

在所述第二电路部分中的所述并联电容器定位于在所述第二电路部分中的所述第二旁路滤波元件和所述串联电容器之间。

7.根据权利要求4所述的双频匹配电路，其中：

在所述第一电路部分中的所述并联电容器定位于在所述第一电路部分中的所述串联电容器和所述第一输出端口之间；以及

在所述第二电路部分中的所述并联电容器定位于在所述第二电路部分中的所述串联电容器和所述第二输出端口之间。

8.根据权利要求1所述的双频匹配电路，所述匹配电路包括：

第一相幅检测器，耦合在所述第一输入端口和所述第一电路部分之间，所述第一相幅检测器被配置为测量RF电压、RF电流和在所述第一频率的所述RF功率的所述RF电压和所述RF电流之间的相位角；以及

第二相幅检测器，耦合在所述第二输入端口和所述第二电路部分之间，所述第二相幅检测器被配置为测量RF电压、RF电流和在所述第二频率的所述RF功率的所述RF电压和所述RF电流之间的相位角。

9.根据权利要求1所述的双频匹配电路，所述匹配电路包括：

第一VI探头，耦合在所述第一电路部分和所述第一输出端口之间，所述第一VI探头被配置为测量所述第一输出信号的RF电压和RF电流；以及

第二VI探头，耦合在所述第二电路部分和所述第二输出端口之间，所述第二VI探头被配置为测量所述第二输出信号的RF电压和RF电流。

10.根据权利要求1所述的双频匹配电路，包括在所述匹配电路的所述统一的物理外壳中的金属隔板，所述金属隔板定位于所述第一电路部分和所述第二电路部分之间并物理间隔所述第一电路部分和所述第二电路部分。