[发明专利]一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液在审
| 申请号： | 202210419368.6 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114806413A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 金洙吉;杨辉鹏;牛昊;沈煜 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 绿色 可见 光催化 辅助 金刚石 化学 机械抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液，其特征在于，所述的抛光液成分包含氧化剂、磨料、可见光光催化剂、螯合剂和去离子水；所述的螯合剂为草酸、柠檬酸、柠檬酸钠、山梨醇、氨基三亚甲基膦酸、葡萄糖酸钠、聚天门冬氨酸中的一种或几种，螯合剂浓度为0.5～2mM，用于提升过氧化氢还原Fe3+和Cu2+的反应速率的同时，降低Fe3+/Fe2+和Cu2+/Cu1+的氧化还原电位。
2.根据权利要求1所述的一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液，其特征在于，所述的氧化剂为过氧化氢，浓度为15wt％～25wt％；所述的磨料为金刚石微粉，粒径为0.5～1μm，浓度为40～80g/l；所述的可见光光催化剂为ND/LDH，铜铁氢氧化物和纳米金刚石杂交产物，浓度为0.02667～0.2667g/l；所述的去离子水的重量百分比为67％～81％。
3.根据权利要求1所述的一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液，其特征在于，所述的螯合剂优选为草酸。
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