[发明专利]阵列微电极及其制备方法和超声装置

权利要求书

1.一种阵列微电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将流体组合物置于绝缘载体中，所述绝缘载体含有腔体，所述流体组合物盛装在所述腔体中；其中，所述流体组合物包括流体基料和分散于所述流体基料中用于微电极的电极颗粒材料；

在所述流体组合物相对的两侧施加超声波，并在所述流体组合物中形成驻波声压场，使得所述电极颗粒材料趋向性运动到声压力节点处；

将所述电极颗粒材料趋向性运动到声压力节点处的所述流体组合物进行固化处理，得到阵列微电极。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述超声波为正弦波、方波中的任一种；和/或

所述超声波的超声频率为100 kHz~2 MHz。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述流体基料包括甲基丙烯酰化明胶、聚二甲基硅氧烷、甲基丙烯酰化透明质酸、丙烯酸酯化环氧树脂中的至少一种；和/或

所述流体基料中还分散有引发剂；和/或

所述电极颗粒材料包括金颗粒、银颗粒、铂颗粒、碳纳米管、石墨烯中的至少一种；和/或

所述电极颗粒材料的粒径为微米范围、纳米范围；和/或

所述流体组合物在25℃下的粘度为1 cP~1000 cP；和/或

电极颗粒材料在流体组合物中的质量含量为0.5 wt%~4 wt%。

4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述流体组合物包括所述引发剂，且所述流体基料、电极颗粒材料和引发剂的质量比为100：（0.5~4）：（0.2~11）；和/或

所述引发剂包括光引发剂、温度引发剂中的至少一种。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述引发剂包括光引发剂，且所述固化处理的方法是对将所述电极颗粒材料趋向性运动到声压力节点处的所述流体组合物进行光照处理。

6.如权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于：所述绝缘载体所含所述腔体的竖向截面为U形，所述腔体的底部平整；所述流体组合物在所述腔体中平铺设置；和/或

在将所述流体组合物置于绝缘载体中之前，还包括在所述腔体的底部铺设有绝缘基板的步骤。

7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述绝缘载体的材料包括聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸脂、聚苯乙烯、光敏树脂、烯丙基二甘醇碳酸脂、尼龙聚合物中的至少一种。

8.一种阵列微电极，其特征在于，所述阵列微电极由权利要求1-7任一项所述的制备方法制备获得。

9.一种用于制备阵列微电极的超声装置，其特征在于，包括：

绝缘载体，包括用于盛装流体组合物的腔体；

超声波发生单元，包括压电换能器、信号发生器和功率放大器，所述压电换能器、信号发生器和功率放大器依次串联，其中，所述压电换能器包括第一压电换能器和第二压电换能器，且所述第一压电换能器和第二压电换能器分设在所述绝缘载体的腔体相对的两侧。

10.如权利要求9所述的超声装置，其特征在于：所述绝缘载体的所述腔体竖向截面为U形，所述第一压电换能器和第二压电换能器分设在所述腔体的所述U形相对的侧壁上；和/或

所述绝缘载体所含所述腔体的底部平整，用于所述流体组合物的平铺设置；和/或

在所述绝缘载体所含所述腔体的底部还铺设有绝缘基板。