[发明专利]一种多波长激光扩束方法及扩束系统

权利要求书

1.一种多波长激光扩束方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、分束：激光器出射激光通过三波长分色镜(1)、双波长分色镜(2)和第一反射镜(3)进行分光，分别输出355nm激光、532nm激光和1064nm激光；

S2、分别扩束：所述355nm激光经过355nm扩束镜组(7)进行准直扩束和色差校正后输出扩束后355nm激光，所述532nm激光经过532nm扩束镜组(8)进行准直扩束和色差校正后输出扩束后532nm激光，所述1064nm激光经过1064nm扩束镜组(9)进行准直扩束和色差校正后输出扩束后1064nm激光，所述355nm扩束镜组(7)、所述532nm扩束镜组(8)和所述1064nm扩束镜组(9)均为球面镜，所述355nm扩束镜组(7)、所述532nm扩束镜组(8)和所述1064nm扩束镜组(9)通过调整球面镜间距离进行色差校正；

S3、合束输出：所述扩束后355nm激光经第二反射镜(4)转折光路后与经双波长合束镜(5)转折光路的所述扩束后532nm激光进行合束输出355nm和532nm激光，所述355nm和532nm激光与经三波长合束镜(6)转折光路的所述扩束后1064nm激光合束输出三波长扩束激光，多波长激光扩束完成。

2.根据权利要求1所述的一种多波长激光扩束方法，其特征在于：

步骤S1中，激光器出射激光通过所述三波长分色镜(1)后透射所述355nm激光、反射532nm与1064nm混合激光，所述532nm与1064nm混合激光经过所述双波长分色镜(2)进行光路转折后透射所述1064nm激光、反射所述532nm激光，所述1064nm激光经所述第一反射镜(3)进行光路转折；

步骤S2中，所述355nm扩束镜组(7)包括依次设置在所述三波长分色镜(1)透射输出光路上的355nm前组扩束镜(71)和355nm后组扩束镜(72)，所述532nm扩束镜组(8)包括依次设置在所述双波长分色镜(2)的反射光路上的532nm前组扩束镜(81)和532nm后组扩束镜(82)，所述1064nm扩束镜组(9)包括依次设置在所述第一反射镜(3)的反射光路上的1064nm前组扩束镜(91)和1064nm后组扩束镜(92)，所述355nm前组扩束镜(71)、所述532nm前组扩束镜(81)和所述1064nm前组扩束镜(91)均为负透镜，所述355nm后组扩束镜(72)、所述532nm后组扩束镜(82)和所述1064nm后组扩束镜(92)均为正透镜组，通过调整所述355nm前组扩束镜(71)与所述355nm后组扩束镜(72)的间距、所述532nm前组扩束镜(81)与所述532nm后组扩束镜(82)的间距、所述1064nm前组扩束镜(91)与所述1064nm后组扩束镜(92)的间距进行色差校正。

3.一种多波长激光扩束系统，其特征在于：包括位于激光器输出光路上的三波长分色镜(1)，位于所述三波长分色镜(1)反射光路上的双波长分色镜(2)，位于所述双波长分色镜(2)透射光路上的第一反射镜(3)，位于所述三波长分色镜(1)透射光路上的第二反射镜(4)，位于所述第二反射镜(4)反射光路上的双波长合束镜(5)，位于所述双波长合束镜(5)反射光路上的三波长合束镜(6)，位于所述三波长分色镜(1)、所述第二反射镜(4)之间光路上的355nm扩束镜组(7)，位于所述双波长分色镜(2)、所述双波长合束镜(5)之间的532nm扩束镜组(8)和位于所述第一反射镜(3)、所述三波长合束镜(6)之间的1064nm扩束镜组(9)，所述第二反射镜(4)的输出光路和所述双波长合束镜(5)的输出光路在所述三波长合束镜(6)的输出光路上进行合路，所述三波长合束镜(6)的输出光路为多波长激光扩束系统的输出光路；

所述355nm扩束镜组(7)包括依次设置在所述三波长分色镜(1)的透射光路上的355nm前组扩束镜(71)和355nm后组扩束镜(72)，所述355nm前组扩束镜(71)包括355nm扩束镜第一透镜(711)，所述355nm后组扩束镜(72)包括从左到右依次放置的355nm扩束镜第二透镜(721)和355nm扩束镜第三透镜(722)，所述355nm扩束镜第一透镜(711)、所述355nm扩束镜第二透镜(721)和所述355nm扩束镜第三透镜(722)均为球面透镜。