[发明专利]一种具有轴向磁通电机的涡旋真空泵在审
申请号: | 202210429778.9 | 申请日: | 2022-04-22 |
公开(公告)号: | CN114884264A | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 韩晶雪;雷震霖;刘在行;王光玉;毕德龙;杨士威;李昌龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
主分类号: | H02K7/04 | 分类号: | H02K7/04;H02K7/10;H02K7/08;H02K9/04;F04C23/02;F04C25/02 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 汪海 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 轴向 通电 涡旋 真空泵 | ||
1.一种具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:包括壳体(2)、真空抽气机构(1)和轴向磁通电机(3),其中真空抽气机构(1)设于壳体(2)中,轴向磁通电机(3)设于壳体(2)后端,所述真空抽气机构(1)包括泵定子(101)、泵转子(102)、偏心转轴(103)、波纹管组件(104)和法兰轴承座(109),其中泵定子(101)和泵转子(102)相互配合,所述波纹管组件(104)前端设有连接罩(1041)与所述泵转子(102)密封连接、后端密封固定于壳体(2)内,法兰轴承座(109)固设于壳体(2)内并插装于所述波纹管组件(104)中,偏心转轴(103)转动安装于所述法兰轴承座(109)内,且所述偏心转轴(103)前端与所述泵转子(102)相连、后端与轴向磁通电机(3)中的轴向磁通电机转子(301)相连,所述偏心转轴(103)前端设有第一配重块(107),且所述第一配重块(107)设于所述连接罩(1041)中,所述轴向磁通电机转子(301)边缘设有第二配重块(3013)。
2.根据权利要求1所述的具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:所述偏心转轴(103)包括偏心轴端(1031)、轴盘(1033)、转轴主体和电机连接端(1032),其中转轴主体前端设有轴盘(1033),所述轴盘(1033)前侧设有偏心轴端(1031)与所述泵转子(102)相连,在所述偏心轴端(1031)上设有所述第一配重块(107),所述转轴主体后端设有电机连接端(1032)与所述轴向磁通电机转子(301)相连。
3.根据权利要求2所述的具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:所述法兰轴承座(109)内设有轴承(106)和定距套组件(105),其中偏心转轴(103)的转轴主体前端和后端分别通过对应端的轴承(106)支撑,转轴主体外侧套装有定距套组件(105),且所述定距套组件(105)设于两个轴承(106)之间,所述轴向磁通电机转子(301)中部设有转子轴套(3011),且所述转子轴套(3011)套装于所述偏心转轴(103)后端的电机连接端(1032)上,所述法兰轴承座(109)前端内的轴承(106)与所述偏心转轴(103)的轴盘(1033)相抵,所述法兰轴承座(109)后端内的轴承(106)与所述转子轴套(3011)之间设有轴承压环(110),并且所述轴承压环(110)固定于法兰轴承座(109)上,在所述转子轴套(3011)远离法兰轴承座(109)一侧设有锁紧螺母(304),且所述锁紧螺母(304)套装于所述电机连接端(1032)上。
4.根据权利要求3所述的具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:所述定距套组件(105)包括内层定距套(1051)和外层定距套(1052),所述内层定距套(1051)两端以及所述外层定距套(1052)两端分别与对应侧的轴承(106)相抵,所述轴承(106)为角接触球轴承。
5.根据权利要求3所述的具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:所述轴向磁通电机转子(301)包括转子铁芯(3012),所述转子轴套(3011)设于转子铁芯(3012)中部的通孔内,第二配重块(3013)固定于转子铁芯(3012)边缘。
6.根据权利要求2所述的具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:在所述偏心轴端(1031)上套装有转子轴承(108),且所述转子轴承(108)与所述泵转子(102)固连,所述第一配重块(107)呈弧形并安装于所述转子轴承(108)上。
7.根据权利要求1所述的具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:所述壳体(2)内设有隔板(201),所述隔板(201)中部设有第一凹槽,并且所述第一凹槽槽底中部设有供所述法兰轴承座(109)穿过的通孔,所述波纹管组件(104)后端设有连接盘(1042),所述法兰轴承座(109)后端设有法兰,并且所述法兰固装于所述隔板(201)的第一凹槽中,所述连接盘(1042)固定于所述隔板(201)上并盖住所述第一凹槽和法兰。
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