[发明专利]一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法在审
申请号: | 202210433817.2 | 申请日: | 2022-04-24 |
公开(公告)号: | CN115411215A | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 肖正国;李智兼 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;B82Y40/00 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 卢敏 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 质量 金属 卤化物 钙钛矿 薄膜 纳米 结构 方法 | ||
1.一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1,利用刻蚀技术制造有纳米结构的凹型硅片模具;
S2,获得钙钛矿前驱液,在钙钛矿前驱液中加入占钙钛矿摩尔比为20%~100%的有机长链胺基分子,获得钙钛矿溶液;
S3,利用旋涂法在平整的PDMS上旋涂钙钛矿溶液,形成钙钛矿薄膜;
S4,将形成有钙钛矿薄膜的PDMS压到凹型硅片上,施加一定压强后从模具上剥离,使钙钛矿薄膜形成凹型硅片模具上的纳米结构;
S5,将步骤S3带有钙钛矿薄膜的PDMS压到目标衬底上,施加一定压强后将PDMS剥离,从而使钙钛矿薄膜转移到目标衬底上;
或者,将步骤S4带有钙钛矿纳米结构的PDMS压到目标衬底上,施加一定压强后将PDMS剥离,从而使钙钛矿纳米结构转移到目标衬底上。
2.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S1中凹型硅片模具中的纳米结构为所需尺寸的点阵、条纹或图案。
3.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S2中的有机长链胺基分子为苯乙基碘化胺、苯甲基碘化胺、4-氟苯甲基碘化胺、丁基碘化胺、苯乙基溴化胺、苯甲基溴化胺、丁基溴化胺和苯乙基氯化胺中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S4中施加的压强大于20kPa,剥离速度小于1cm/s。
5.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S5中的目标衬底为有机层、钙钛矿层、柔性或弯曲的曲面。
6.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S5中施加的压强大于2kPa,剥离速度小于10cm/s。
7.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S5中的目标衬底可以为已经转移过钙钛矿纳米结构的衬底,可以再将不同组分和/或不同图案的钙钛矿纳米结构交替排布在一起。
8.根据权利要求7所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:通过在目标衬底上交替排布蓝光钙钛矿条纹和红光钙钛矿条纹,可实现白光发射。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择