[发明专利]一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法在审

专利信息
申请号: 202210433817.2 申请日: 2022-04-24
公开(公告)号: CN115411215A 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 肖正国;李智兼 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;B82Y40/00
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 卢敏
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 转移 质量 金属 卤化物 钙钛矿 薄膜 纳米 结构 方法
【权利要求书】:

1.一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1,利用刻蚀技术制造有纳米结构的凹型硅片模具;

S2,获得钙钛矿前驱液,在钙钛矿前驱液中加入占钙钛矿摩尔比为20%~100%的有机长链胺基分子,获得钙钛矿溶液;

S3,利用旋涂法在平整的PDMS上旋涂钙钛矿溶液,形成钙钛矿薄膜;

S4,将形成有钙钛矿薄膜的PDMS压到凹型硅片上,施加一定压强后从模具上剥离,使钙钛矿薄膜形成凹型硅片模具上的纳米结构;

S5,将步骤S3带有钙钛矿薄膜的PDMS压到目标衬底上,施加一定压强后将PDMS剥离,从而使钙钛矿薄膜转移到目标衬底上;

或者,将步骤S4带有钙钛矿纳米结构的PDMS压到目标衬底上,施加一定压强后将PDMS剥离,从而使钙钛矿纳米结构转移到目标衬底上。

2.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S1中凹型硅片模具中的纳米结构为所需尺寸的点阵、条纹或图案。

3.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S2中的有机长链胺基分子为苯乙基碘化胺、苯甲基碘化胺、4-氟苯甲基碘化胺、丁基碘化胺、苯乙基溴化胺、苯甲基溴化胺、丁基溴化胺和苯乙基氯化胺中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S4中施加的压强大于20kPa,剥离速度小于1cm/s。

5.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S5中的目标衬底为有机层、钙钛矿层、柔性或弯曲的曲面。

6.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S5中施加的压强大于2kPa,剥离速度小于10cm/s。

7.根据权利要求1所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:步骤S5中的目标衬底可以为已经转移过钙钛矿纳米结构的衬底,可以再将不同组分和/或不同图案的钙钛矿纳米结构交替排布在一起。

8.根据权利要求7所述的一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,其特征在于:通过在目标衬底上交替排布蓝光钙钛矿条纹和红光钙钛矿条纹,可实现白光发射。

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