[发明专利]电子元器件近场扫描电磁图案聚类分析方法和系统

权利要求书

1.一种电子元器件近场扫描电磁图案聚类分析方法，其特征在于，包括：对被测器件进行近场扫描，再对扫描得到的数据进行后期处理得到电磁图像，然后利用改进的K-Means聚类方法对得到的电磁图案进行聚类分析；

其中，所述改进的K-Means聚类方法是先通过手肘法确定K值，再利用K-Means聚类方法对得到的电磁图案进行聚类分析。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步：通过测试确保被测器件能够工作正常且表面足够平整；

第二步：将被测器件水平放置在测试台上，并正常上电；

第三步：调整电磁探头在被测器件上方运动的扫描平面；

第四步：设置频谱仪的参数；

第五步：控制电磁探头对被测器件进行扫描；

第六步：导出扫描得到的电磁数据，进行后期处理并可视化，得到电磁图像；

第七步：利用改进的K-Means聚类方法对得到的电磁图案进行聚类分析。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，第三步中，将电磁探头的传感部分调整到与被测器件表面的距离为几百微米的位置。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，第五步中，控制电磁探头从被测器件的左上角开始进行蛇形扫描，直到扫描结束。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述后期处理包括计算标准差和提取电磁图案。

6.一种电子元器件近场扫描系统，用于实施权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，包括测试台、电磁探头、频谱仪和计算机，所述测试台用于承载和固定被测器件，所述电磁探头用于探测被测器件辐射的电磁场并传送到频谱仪，所述频谱仪将测量得到的数据传送给所述计算机；所述计算机控制所述电磁探头运动，并对测量得到的数据进行后期处理得到电磁图案，以及利用K-Means聚类方法对得到的电磁图案进行聚类分析。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述计算机安装有电磁图案分析软件，所述电磁图案分析软件能实现读取数据、处理数据、STD计算并绘制STD二维图、提取电磁图案、电磁图案聚类、聚类结果可视化的功能。