[发明专利]一种紫外-可见光波段可分辨光电探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种紫外-可见光波段可分辨光电探测器，其特征在于，包括：衬底、光吸收复合层和光收集复合层，所述光收集复合层与所述光吸收复合层依次层叠设置在所述衬底上，所述光收集复合层用于收集所述光吸收复合层产生的载流子，以形成光电流；

所述光收集复合层包括电荷传输层与欧姆电极层；

所述光吸收复合层包括依次层叠设置的正极性光吸收层与负极性光吸收层，所述正极性光吸收层的禁带宽度小于可见光的光子能量，所述正极性光吸收层用于吸收可见光，产生空穴，以形成正的光电导和产生正向的光电流，所述负极性光吸收层的禁带宽度小于紫外光的光子能量，所述负极性光吸收层用于吸收紫外光，产生电子，以形成负的光电导和产生负向的光电流；

所述负极性光吸收层为氮化镓负极性光吸收层或氮化铝镓负极性光吸收层。

2.根据权利要求1所述的紫外-可见光波段可分辨光电探测器，其特征在于，所述正极性光吸收层位于所述衬底与所述负极性光吸收层之间。

3.根据权利要求1所述的紫外-可见光波段可分辨光电探测器，其特征在于，所述负极性光吸收层位于所述衬底与所述正极性光吸收层之间。

4.根据权利要求1所述的紫外-可见光波段可分辨光电探测器，其特征在于，所述电荷传输层位于所述欧姆电极层与所述光吸收复合层之间；

或者，所述欧姆电极层包括至少一个第一欧姆电极层和至少一个第二欧姆电极层，所述第一欧姆电极层与所述第二欧姆电极层间隔设置，所述第一欧姆电极层和所述第二欧姆电极层位于所述光吸收复合层与部分所述电荷传输层之间，另一部分所述电荷传输层、所述第一欧姆电极层和所述第二欧姆电极层同层设置。

5.根据权利要求4所述的紫外-可见光波段可分辨光电探测器，其特征在于，还包括缓冲层，所述缓冲层位于所述衬底与所述光吸收复合层之间。

6.一种紫外-可见光波段可分辨光电探测器的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底上形成光吸收复合层，其中，所述光吸收复合层包括正极性光吸收层和负极性光吸收层，所述正极性光吸收层的禁带宽度小于可见光的光子能量，所述正极性光吸收层用于吸收可见光，产生空穴，以形成正的光电导和产生正向的光电流，所述负极性光吸收层的禁带宽度小于紫外光的光子能量，所述负极性光吸收层用于吸收紫外光，产生电子，以形成负的光电导和产生负向的光电流，所述负极性光吸收层为氮化镓负极性光吸收层或氮化铝镓负极性光吸收层；

在所述光吸收复合层上形成光收集复合层，其中，所述光收集复合层用于收集所述光吸收复合层产生的载流子，以形成光电流，所述光收集复合层包括电荷传输层与欧姆电极层。

7.根据权利要求6所述的紫外-可见光波段可分辨光电探测器的制备方法，其特征在于，所述在衬底上形成光吸收复合层包括：

在所述衬底上形成所述正极性光吸收层；

在所述正极性光吸收层上形成所述负极性光吸收层；

或者，在所述衬底上形成所述负极性光吸收层；

在所述负极性光吸收层上形成所述正极性光吸收层。

8.根据权利要求7所述的紫外-可见光波段可分辨光电探测器的制备方法，其特征在于，所述光收集复合层包括电荷传输层与欧姆电极层，所述在所述光吸收复合层上形成光收集复合层包括：

在所述光吸收复合层上形成所述电荷传输层；

在所述电荷传输层上形成所述欧姆电极层；

或者，在所述光吸收复合层上形成所述欧姆电极层；

在所述欧姆电极层和所述光吸收复合层上形成所述电荷传输层。