[发明专利]一种转动式带有遮挡结构的量子芯片原料涂膜辅助设备

说明书

本发明涉及量子芯片生产技术领域，具体地说，涉及一种转动式带有遮挡结构的量子芯片原料涂膜辅助设备。其包括一对连接板、安装在两连接板之间的涂膜机构、安装在涂抹机构顶端的传动机构以及安装在涂抹机构底端的芯片安置机构，芯片安置机构包括加工盘，加工盘顶端滑动连接有遮挡组件，遮挡组件包括转盘，转盘顶端连接有遮挡板。本发明中，芯片本体安置在加工盘内端，通过涂沫机构对芯片进行涂膜处理，涂沫过程中通过遮挡板对涂膜过程中产生的飞溅物进行阻隔，避免飞溅至外部设备，导致后期难以清理，同时涂膜过程中，转盘通过传动机构跟随涂膜机构相对转动，实现定点遮挡，提高遮挡灵活度，保证遮挡效果。

技术领域

本发明涉及量子芯片生产技术领域，具体地说，涉及一种转动式带有遮挡结构的量子芯片原料涂膜辅助设备。

背景技术

量子芯片就是将量子线路集成在基片上，进而承载量子信息处理的功能，借鉴于传统计算机的发展历程，量子计算机的研究在克服瓶颈技术之后，要想实现商品化和产业升级，需要走集成化的道路。超导系统、半导体量子点系统、微纳光子学系统、甚至是原子和离子系统，都想走芯片化的道路，传统的半导体量子点系统也是人们努力探索的目标，因为毕竟传统的半导体工业发展已经很成熟，如半导体量子芯片在退相干时间和操控精度上一旦突破容错量子计算的阈值，有望集成传统半导体工业的现有成果，大大节省开发成本。

量子芯片在进行生产过程中需要进行多道工序，这其中就包括对量子芯片表面进行涂膜处理，现有的量子芯片原料涂膜设备大多数采用喷射式涂膜，导致在进行涂膜过程中，涂膜液与量子芯片表面发生碰撞，导致出现液体飞溅，飞溅的涂膜液很容易粘附在设备表面，凝固很难进行清理，所以需要一种能够在进行涂膜的同时对飞溅的涂膜液进行阻隔的辅助设备，以减少清理人员工作量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种转动式带有遮挡结构的量子芯片原料涂膜辅助设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，提供了一种转动式带有遮挡结构的量子芯片原料涂膜辅助设备，包括一对连接板、安装在两所述连接板之间的涂膜机构、安装在涂膜机构顶端的传动机构以及安装在涂膜机构底端的芯片安置机构，所述涂膜机构包括顶盘，所述顶盘底端设置有液压杆，所述顶盘底端连接有喷涂泵，所述喷涂泵底端设置有喷头，所述喷涂泵顶端连接有连接柱，所述连接柱侧面与所述液压杆末端连接，所述传动机构包括电机，所述电机底端设置有一对顶部齿轮，两所述顶部齿轮啮合连接，其中一个所述顶部齿轮顶端与所述电机底端同轴连接，所述顶部齿轮底端与所述顶盘顶端同轴连接，所述顶部齿轮底端设置有一对底部齿轮，两所述底部齿轮啮合连接，其中一个所述底部齿轮与另一个所述顶部齿轮之间同轴连接有连接转杆，所述芯片安置机构包括加工盘，所述加工盘顶端靠近中间位置设置有芯片槽，所述芯片槽中心位置设置有插柱，所述插柱上插接有芯片本体，所述芯片本体与所述芯片槽套接配合，所述加工盘顶端靠近边沿位置设置有滑槽，所述滑槽内端设置有遮挡组件，所述遮挡组件包括转盘，所述转盘底端与其中一个所述底部齿轮顶端同轴连接，所述转盘顶端边沿位置连接有遮挡板，所述遮挡板与所述滑槽滑动连接，所述遮挡板呈L型结构，所述遮挡板顶端侧面连接有调节板，所述遮挡板顶端以及调节板顶端均设置有连接槽，所述喷头底端与所述连接槽滑动连接，所述遮挡板侧面设置有内槽，所述内槽与所述调节板滑动连接。

作为本技术方案的进一步改进，两连接板之间连接有防护框，所述防护框一侧设置有开槽。

作为本技术方案的进一步改进，所述顶盘底端设置有滑道，所述滑道设置在所述液压杆外侧，所述连接柱末端与所述滑道内端滑动连接。

作为本技术方案的进一步改进，两所述顶部齿轮外侧以及两所述底部齿轮外侧均设置有隔离套件，其中一个所述隔离套件固定在所述顶盘顶端位置，另一个所述隔离套件固定在所述加工盘底端位置。

作为本技术方案的进一步改进，所述加工盘顶端靠近中间位置设置有滤槽，所述滤槽内端套接有收集圆柜，所述收集圆柜内端设置有若干漏孔。