[发明专利]一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法

权利要求书

1.一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用PECVD方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：

(1)取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样品由于应力作用使其截面呈圆弧状；

(2)检测：将所述检测样品置于低倍光学显微镜的观测台上，测量圆弧弦长L以及弧顶到弦中心的距离d，推导出圆弧的曲率半径r；

(3)计算：根据stoney公式，计算得到柔性硅氧烷薄膜厚度h_f：

式中，k₀是柔性基底镀膜前的曲率，单位mm^-1；k是柔性基底镀膜后的曲率，等于所述圆弧的曲率半径r的倒数，单位mm^-1；σ是硅氧烷薄膜平均应力，单位MPa/nm；h_f是柔性硅氧烷薄膜厚度，单位nm；h_s是柔性基底厚度，单位μm；M_s是柔性基底弹性模量，单位MPa。

2.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述检测样品的长度为20～40mm，宽度为3～5mm。

3.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(2)中，所述低倍光学显微镜为2～20倍显微镜。

4.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(2)中，按照下式推导出圆弧的曲率半径r：

式中，L是圆弧弦长，d是弧顶到弦中心的距离。

5.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，步骤(2)中，弧顶到弦中心的距离d的测量方法包括：利用显微镜的测试软件做一条与弦平行且与圆弧相切的直线，该直线与弦的距离即为弧顶到弦中心的距离d。

6.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，所述柔性基底选自聚脂薄膜、聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，其特征在于，所述柔性基底的厚度为12～125μm。