[发明专利]复眼主动对焦匀光系统

说明书

本发明公开了一种复眼主动对焦匀光系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示技术领域。本发明包括基板，基板的上侧设有第三镜片、滑动配合有两个矩形框，矩形框内滑动配合有固定框、一侧固定有固定板，固定框的一侧固定有连接板，连接板的上侧转动配合有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿固定板并螺纹配合在固定板内，两个固定框内分别装设有第一镜片和第二镜片。本发明通过伺服电机的作用方便带动第二螺纹杆进行转动，进而方便让第二螺纹杆带动矩形框在基板和支撑架之间进行滑动，通过转动转把方便带动第一螺纹杆进行转动，进而带动固定框在矩形框的内部进行滑动，进而方便调节固定框内第一镜片或第二镜片的高度。

技术领域

本发明属于光刻直写曝光机及投影显示技术领域，特别是涉及一种复眼主动对焦匀光系统。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。由于市面上大多数的印刷电路板(Printed Circuit Board，简称PCB板)都为精密线路，普遍的解析能力达到-μm量级，因此激光直接成像(Laser DirectImage，简称LDI)能量的均匀性是影响曝光质量的主要因素。

但是，现有技术中的复眼匀光系统存在不方便对镜片进行对焦调节的操作，导致LDI曝光时激光器能量分布不均匀，进而导致PCB板报废的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种复眼主动对焦匀光系统，解决了现有复眼匀光系统不方便对镜片进行对焦调节的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种复眼主动对焦匀光系统，包括基板，基板的上侧设有第三镜片、滑动配合有两个矩形框，矩形框内滑动配合有固定框、一侧固定有固定板，固定框的一侧固定有连接板，连接板的上侧转动配合有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿固定板并螺纹配合在固定板内，固定框的上侧和固定框的下侧均设有两个弹簧滑杆，弹簧滑杆的一端均活动配合有压板，两个固定框内分别装设有第一镜片和第二镜片；

基板的下侧装设有两个用于驱动矩形框滑动的驱动机构。

可选的，驱动机构包括装设在基板下侧的安装板，安装板的一侧装设有伺服电机，伺服电机的输出端装设有第二螺纹杆。

可选的，基板上开设有通槽，矩形框的下侧固定有支撑板，支撑板位于通槽内，第二螺纹杆螺纹配合在支撑板内。

可选的，基板的上侧固定有两个支撑架，矩形框滑动配合在基板与支撑架之间。

可选的，基板的上侧固定有限位框，限位框内装设有第三镜片，第三镜片和第一镜片的一侧均设有复眼透镜阵列。

可选的，基板的上侧还装设有准直透镜、滑动配合有激光器，准直透镜位于激光器和限位框之间。

可选的，基板的上侧滑动配合有电动推杆，电动推杆的输出端装设有托板，激光器装设在托板的上侧。

可选的，第一螺纹杆的上端固定有转盘，转盘的上侧转动配合有转把。

可选的，第二螺纹杆的一端固定有封堵板，且封堵板位于通槽的下方。

可选的，基板的下侧固定有四个支撑腿，且四个支撑腿分别位于基板下侧的四个转角处。

本发明的实施例具有以下有益效果：