[发明专利]一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法

权利要求书

1.一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)在光波导板上制作出具有一定深度的凹槽，保持凹槽的底面和侧面光滑；所述的光波导板从下到上依次包括波导基板、波导下包层、波导芯层和波导上包层；

(2)采用热风回流工艺，控制热风回流的温度和时间，对凹槽的侧面进行处理，在热风回流作用下，凹槽侧面的波导材料处于微容状态，使凹槽侧面逐渐趋于平整，从而增加凹槽侧面的光滑度，降低其粗糙度；热风回流处理之后使凹槽侧面自然降至室温；

(3)在显微镜或者CCD的观测下放置调整准备好的斜面镜，使反射的光束角度符合设计要求；或者，采用在线检测光功率的办法确保斜面镜的放置位置最优，最后采用粘接剂固定斜面镜。

2.如权利要求1所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于凹槽的深度从波导上包层开至波导基板，凹槽的侧面至少露出波导下包层、波导芯层和波导上包层。

3.如权利要求1所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于步骤(2)热风回流的温度为200℃-300℃，时间为10-30s。

4.如权利要求1所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于所述斜面镜的横截面为梯形，梯形斜边与底边之间的夹角为45°，斜面镜倾斜的一面作为光反射面朝向需要接收反射光或者需要发射光的凹槽的侧面。

5.如权利要求1或4所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于斜面镜的高度与凹槽的高度相等。

6.如权利要求1所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于所述调整准备好的斜面镜提前进行优化处理，优化处理至少包括对斜面镜进行镀膜和检测。

7.如权利要求6所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于对斜面镜镀增反膜或金膜，以增加斜面镜光反射面的反射率。

8.如权利要求6所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于对斜面镜的检测采用3D轮廓仪或超景深显微镜，检测斜面镜的粗糙度、平整度和光洁度，保证斜面镜光发射面的质量和粗糙度。

9.如权利要求1所述的在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法，其特征在于步骤(3)采用自动贴片设备放置斜面镜，方便返修和批量化生产。