[发明专利]一种发光组件的制造方法在审
| 申请号： | 202210453454.9 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114935745A | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 吕晨晋;李佳鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳阜时科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/484 | 分类号： | G01S7/484;G01S7/481 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 发光 组件 制造 方法 | ||
1.一种发光组件的制造方法，其特征在于，包括：
提供第一衬底；
在所述第一衬底上集成感测光源和驱动器件；
其中，所述感测光源用于发射感测光脉冲，所述驱动器件用于向所述感测光源提供电流信号，以驱动所述感测光源发出所述感测光脉冲。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述在所述第一衬底上制造感测光源和驱动器件，包括：
在所述第一衬底上以外延生长的方式形成所述感测光源；
对所述第一衬底进行掺杂，以形成所述驱动器件。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述驱动器件包括开关管。
4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述在所述第一衬底上制造感测光源和驱动器件，包括：
在所述第一衬底上以外延生长的方式形成所述感测光源；
在所述第一衬底上以外延生长的方式形成所述驱动器件；
其中，所述驱动器包括光电转换器和激发光源，所述光电转换器件用于向所述感测光源提供所述电流信号，所述激发光源用于向所述光电转换器件发射光信号，以激发所述光电转换器件产生所述电流信号。
5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述在所述第一衬底上集成感测光源和驱动器件，包括：
在所述第一衬底上以外延生长的方式形成所述感测光源；
将所述驱动器件中的位于第二衬底上的器件以晶圆键合的方式集成在所述第一衬底上。
6.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述晶圆键合为直接晶圆键合或金属辅助晶圆键合。
7.根据权利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述驱动器件包括光电转换器件和激发光源，所述光电转换器件用于向所述感测光源提供所述电流信号，所述激发光源用于向所述光电转换器件发射光信号，以激发所述光电转换器件产生所述电流信号，所述驱动器件中的位于所述第二衬底上的器件为所述光电转换器件。
8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括：
在所述第一衬底上添加隔离区，以隔离所述光电转换器件和所述激发光源。
9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述隔离区为沟槽或PN结。
10.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述光电转换器件为单光子雪崩器件和/或所述激发光源为垂直腔面发射激光器。
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