[发明专利]一种真空加热装置

权利要求书

1.一种真空加热装置，包括样品腔室、加热系统以及用于对样品腔室抽真空的真空泵，其特征在于，所述样品腔室内设有用于放置样品的放置处，围绕所述放置处设有若干层氧吸收源，若干层氧吸收源通过连接件连接，所述连接件与样品腔室可拆卸连接，所述加热系统用于对样品和氧吸收源分别进行加热；所述连接件为带有凹槽的连接板或设有通孔的若干连接块。

2.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空加热装置还包括气氛调节装置，所述气氛调节装置包括储存有惰性气体或还原性气体的气源、连接气源与样品腔室之间的连接管路，气体流量计以及用于控制气源开关的阀门。

3.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述氧吸收源由易氧化的金属材料制成。

4.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述氧吸收源包括基底以及涂覆在基底上的氧吸收层，所述氧吸收层由易氧化的金属材料制成。

5.根据权利要求4所述的真空加热装置，其特征在于，所述氧吸收层为至少设为两层的复合涂层，所述复合涂层的最外层为保护层，所述保护层由易形成致密氧化膜的金属制成。

6.根据权利要求4所述的真空加热装置，其特征在于，所述氧吸收层的涂覆方式为电镀或化学镀或气相沉积。

7.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述氧吸收源为以下形态中的任意一种或几种：丝状、薄片状、泡沫状、块状、颗粒状。

8.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述颗粒状的氧吸收源的粒径范围为：100nm-1mm。