[发明专利]可切换偏振旋转器

说明书

本发明涉及可切换偏振旋转器，涉及偏振旋转器的结构以及制造偏振旋转器的结构的方法。该结构包括：衬底，位于该衬底上方的第一波导芯，以及位于该衬底上方的第二波导芯。该第二波导芯靠近该第一波导芯的片段设置。该第二波导芯由具有响应刺激而可逆地变化的折射率的材料组成。

技术领域

本发明涉及光子芯片，尤其涉及偏振旋转器的结构以及制造偏振旋转器的结构的方法。

背景技术

光子芯片用于许多应用及系统中，包括但不限于数据通信系统及数据计算系统。光子芯片将光学组件(例如波导、光学开关，以及定向耦合器)与电子组件(例如场效应晶体管)集成于统一的平台中。除其它因素以外，布局面积、成本以及操作开销可通过将两种组件集成于同一芯片上来减小。

偏振旋转器是光子芯片中常见的另一种光学组件。偏振旋转器可经配置以接收具有给定偏振状态(例如，基本横磁(TM0)模式)的光信号作为输入，并输出不同的偏振状态(例如，基本横电(TE0)模式)。偏振旋转器是具有无法被调节、切换或以其它方式配置的光学性能的被动光学组件。

需要改进的偏振旋转器的结构以及制造偏振旋转器的结构的方法。

发明内容

在本发明的一个实施例中，提供一种偏振旋转器的结构。该结构包括衬底，位于该衬底上方的第一波导芯，以及位于该衬底上方的第二波导芯。该第二波导芯靠近该第一波导芯的片段(section)设置。该第二波导芯由具有响应刺激(stimulus)而可逆地变化的折射率的材料组成。

在本发明的一个实施例中，提供一种形成偏振旋转器的结构的方法。该方法包括在衬底上方形成第一波导芯，以及在该衬底上方形成第二波导芯。该第二波导芯靠近该第一波导芯的片段设置，且该第二波导芯由具有响应刺激而可逆地变化的折射率的材料组成。

附图说明

包含于并构成本说明书的一部分的附图示例说明本发明的各种实施例，并与上面所作的有关本发明的概括说明以及下面所作的有关该些实施例的详细说明一起用以解释本发明的该些实施例。在该些附图中，类似的附图标记表示不同视图中类似的特征。

图1显示依据本发明的实施例处于制程方法的初始制造阶段的结构的顶视图。

图2显示大体沿图1中的线2-2所作的该结构的剖视图。

图3显示处于图1之后的制造阶段的该结构的顶视图。

图4显示大体沿图3中的线4-4所作的该结构的剖视图。

图5显示处于图3、4之后的制造阶段的该结构的剖视图。

图6显示依据本发明的替代实施例的结构的顶视图。

图7显示大体沿图6中的线7-7所作的该结构的剖视图。

图8显示依据本发明的替代实施例的结构的顶视图。

图9显示大体沿图8中的线9-9所作的该结构的剖视图。

图10显示依据本发明的替代实施例的结构的顶视图。

图11显示大体沿图10中的线11-11所作的该结构的剖视图。

图12显示处于图10、11之后的制造阶段的该结构的剖视图。

具体实施方式