[发明专利]用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂及其制作方法

权利要求书

1.一种用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：包括气体吸附材料和气体固化材料，所述气体吸附材料包括非蒸散型合金吸气剂，所述气体固化材料为金属氧化物材料和多孔吸附材料的组合物。

2.根据权利要求1所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：该可再生复合吸气剂具有电加热部件。

3.根据权利要求1所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述非蒸散型合金吸气材料的合金成分由钛、锆、钒、铁、钼、镍、铪、铌、钇、铼、镧系、铝、铜、钯、铪和钴中的一种或多种构成。

4.根据权利要求3所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述非蒸散型合金吸气材料为锆钒铁合金吸气剂。

5.根据权利要求1所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述多孔吸附材料包括活性炭、分子筛、活性氧化铝、硅胶中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述金属氧化物材料可在520℃以下温度与氢气发生化学反应生成非气态物质。

7.根据权利要求6所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述金属氧化材料物为含铁、铜、锌、钯、钾、钙、铝的氧化物，或者它们的组合。

8.根据权利要求7所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述金属氧化物材料和所述多孔吸附材料，其组分比为多孔金属氧化物占5wt.％～90wt.％，多孔吸附材料占5wt.％～90wt.％，其中wt.％表示质量比。

9.根据权利要求1所述的用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂，其特征在于：所述非蒸散型合金吸气剂和所述多孔吸附材料的占比为：非蒸散型合金吸气剂质量占比10％～99％，多孔吸附材料质量占比5％～60％。

10.一种制作权利要求1至9任一项所述用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂的方法，其特征在于：

A、气体吸附材料的制作：在粉末状的非蒸散型合金吸气剂中加入经烧结成型的球形5A分子筛，经压制成型得到薄圆柱状的气体吸附材料，其中球形5A分子筛的体积在所述薄圆柱状的气体吸附材料的质量占比为5％～60％，非蒸散型合金吸气剂为锆钒铁合金吸气剂；

B、气体固化材料的制作：将3g氧化铁粉末与质量分数为20％～35％的NH₄HCO₃粉末混合，以无水乙醇为溶剂进行充分的搅拌，加入直径2mm的球形5A分子筛一枚，经压制，压制压力小于100MPa，得到直径6mm、高度2mm的氧化物复合型吸气剂薄圆柱状气体固化材料生坯；

C、将所述气体固化材料生坯置于真空干燥箱中于80℃下烘烤4h，使NH₄HCO₃分解至完全除去，得到最终的气体固化材料件，将所述气体吸附材料与所述气体固化材料通过金属点焊的方式分别固接在电加热部件的两侧，构成一种用于维持高真空环境的可再生复合吸气剂。