[发明专利]一种高强度键合金带及其制备方法在审
申请号: | 202210465252.6 | 申请日: | 2022-04-29 |
公开(公告)号: | CN115029578A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 罗瑶;吕保国;何金江;宋瑶;王鹏;刘晓;关俊卿;侯智超 | 申请(专利权)人: | 有研亿金新材料有限公司 |
主分类号: | C22C5/02 | 分类号: | C22C5/02;C22C1/02;C22F1/14;B21C37/04;H01L23/492;H01L21/48 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 陈波 |
地址: | 102299 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 强度 合金 及其 制备 方法 | ||
1.一种高强度键合金带,其特征在于,以质量百分数计,Au≥99.99%,包括Be:0~0.01%、Ni:0~0.01%、Sm:0~0.01%,键合金带厚度0.002~0.008mm,宽度0.02~0.8mm,断裂负荷≥15cN,延伸率≥8%。
2.权利要求1所述高强度键合金带的制备方法,其特征在于,包括熔炼、浇铸成型、轧制、热处理、拉丝、精密轧制的步骤,制备得到高强度键合金带。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述熔炼为:先使用纯度为99.999%的金进行真空熔炼,再将Be、Ni、Sm加入熔体,进行精炼除气。
4.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述轧制为冷轧,道次变形量为2~5%,总变形量达到70-90%进行热处理,所述热处理为:加热温度200-300℃,保温时间10-30min。
5.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述拉丝的道次变形量为5~10%,总变形量达到50-70%进行热处理,所述拉制热处理为:加热温度200-300℃,保温时间10-30min。丝材终拉尺寸由带材的成品尺寸确定,丝材截面积与键合金带截面积保持一致。
6.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述精密轧制,道次变形量为5~10%,成品键合金带达到厚度0.002~0.008mm,公差±0.0001宽度0.02~0.8mm,公差±5%。
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