[发明专利]湿度传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种湿度传感器，其特征在于，包括：

基底层；

电极层，包括所述湿度传感器的电容的两极；

丝素蛋白感湿层，设置于所述电容的两极之间，用于作为所述电容的介电材料，所述丝素蛋白感湿层中包括丝素蛋白，所述丝素蛋白感湿层的表面设置有纤维结构。

2.如权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，所述纤维结构包括直径为1纳米～100微米范围内的纤维单元。

3.如权利要求1或2所述的湿度传感器，其特征在于，所述丝素蛋白感湿层中的至少部分丝素蛋白的分子链结构为结晶状态中的β折叠结构。

4.如权利要求1或2所述的湿度传感器，其特征在于，所述丝素蛋白感湿层中的30％以上的丝素蛋白的分子链结构为结晶状态中的β折叠结构。

5.如权利要求1或2所述的湿度传感器，其特征在于，所述丝素蛋白感湿层是将丝素蛋白在小分子的有机极性溶液或其蒸汽中放置预设时长，以使得至少部分丝素蛋白的分子链结构转变为结晶状态中的β折叠结构而得到的。

6.如权利要求5所述的湿度传感器，其特征在于，所述小分子的有机极性溶液包括以下至少一项：

无水甲醇、甲醇溶液、无水乙醇、乙醇溶液。

7.一种湿度传感器，其特征在于，包括：

基底层；

电极层，包括所述湿度传感器的电容的两极；

丝素蛋白感湿层，设置于所述电容的两极之间，用于作为所述电容的介电材料，所述丝素蛋白感湿层中包括丝素蛋白，所述丝素蛋白感湿层中的30％以上的丝素蛋白的分子链结构为结晶状态中的β折叠结构。

8.如权利要求7所述的湿度传感器，其特征在于，所述丝素蛋白感湿层是将丝素蛋白在水蒸气、小分子的有机极性溶液或其蒸汽中放置预设时长，以使得至少部分丝素蛋白的分子链结构转变为结晶状态中的β折叠结构而得到的。

9.如权利要求8所述的湿度传感器，其特征在于，所述小分子的有机极性溶液包括以下至少一项：无水甲醇、甲醇溶液、无水乙醇、乙醇溶液。

10.一种湿度传感器的制作方法，其特征在于，包括：

在基底层上生长电极层，所述电极层中包括所述湿度传感器的电容的两极；

在所述电极层之上涂覆丝素蛋白，以生成所述丝素蛋白感湿层；

在所述丝素蛋白感湿层的表面制造纤维结构。

11.如权利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述在所述丝素蛋白感湿层的表面制造纤维结构，包括：使用以下工艺中的至少一种制造所述纤维结构：等离子氧化刻蚀工艺、电雾化刻蚀工艺、超声雾化刻蚀工艺、高压雾化刻蚀工艺。

12.如权利要求10或11所述的制作方法，其特征在于，所述纤维结构包括直径为1纳米～100微米范围内的纤维单元。

13.如权利要求10或11所述的制作方法，其特征在于，所述方法还包括：将丝素蛋白感湿层在水蒸气、小分子的有机极性溶液或其蒸汽中放置预设时长，以使得至少部分丝素蛋白的分子链结构转变为结晶状态中的β折叠结构。

14.如权利要求13所述的制作方法，其特征在于，所述小分子的有机极性溶液包括以下至少一项：

无水甲醇、甲醇溶液、无水乙醇、乙醇溶液。

15.如权利要求13所述的制作方法，其特征在于，所述预设时长为0.5～12小时。

16.如权利要求13所述的制作方法，其特征在于，所述小分子的有机极性溶液为甲醇溶液，所述甲醇溶液的甲醇浓度为75％～85％。