[发明专利]一种镜片、摄像头模组、镜片镀膜方法和掩膜板有效
| 申请号： | 202210471152.4 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114908316B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 高峰;杨晓光 | 申请（专利权）人： | 昆山丘钛微电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;G02B1/10;H04N23/55 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 杨海霞 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镜片 摄像头 模组 镀膜 方法 掩膜板 | ||
1.一种镜片镀膜方法，其特征在于，所述方法包括：
将掩膜板置于待镀膜镜片需要镀膜的一侧，所述掩膜板包括具有目标形状的镂空部位，所述目标形状包括N条射线的原点均重合后形成的放射线形状，N为正整数；
向所述掩膜板溅射离子群，透过所述镂空部位的离子在所述待镀膜镜片上形成具有所述目标形状的膜片。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，N为大于等于360的正整数。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标形状包括仅由N条射线的原点均重合后形成的放射线形状组成，N为正整数；
或者，N条射线的原点均重合后形成的放射线以及以所述原点为圆心形成的M个圆交织后形成的形状，M为正整数。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述M个圆中相邻两个圆的半径之差为0.5mm-1mm。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待镀膜镜片为待组装摄像头模组中与成像传感器距离最远的镜片。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述原点与所述待镀膜镜片的中心之间的距离小于等于5um。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述具有所述目标形状的膜片在所述待镀膜镜片上的面积占比大于等于10％。
8.一种镜片，其特征在于，所述镜片是基于权利要求1-7任一所述的一种镜片镀膜方法镀膜后形成的。
9.一种摄像头模组，其特征在于，所述摄像头模组包括权利要求8所述的一种镜片。
10.一种用于镜片镀膜的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括具有目标形状的镂空部位，所述目标形状包括N条射线的原点均重合后形成的放射线形状，N为正整数；
所述镂空部位用于在向所述掩膜板溅射离子群时，透过所述镂空部位的离子在待镀膜镜片上形成具有所述目标形状的膜片。
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