[发明专利]一种利用磁控溅射多功能镀膜设备

说明书

本发明公开了一种利用磁控溅射多功能镀膜设备，该设备包括镀膜室，所述镀膜室的内部安装有两个固定盒。该发明，便于对镀膜前后的金属基材进行快速拆卸，缩短金属基材的拆卸时间，且在相比传统的外壳拆卸后对金属基材进行拆装的方法，可减少外界灰尘进入的现象，缩短占用镀膜设备的时间，保证镀膜效率，同时在镀膜过程中可有效的达到除尘效果，减少镀膜辊与金属基材之间发生夹带灰尘颗粒现象，并且在镀膜过程中对镀膜辊的温度进行实时检测，在必要时进行快速降温，减少因温度过高而导致基材受热变形，形成质量缺陷的问题发生，便于推广使用。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，更具体地说，涉及一种利用磁控溅射多功能镀膜设备。

背景技术

磁控溅射卷绕镀膜设备是利用磁控溅射镀膜技术(在真空环境下，利用等离子体放电产生的正离子，轰击处于负电位的靶材，溅射出靶材原子)，通过卷对卷的生产方式，在金属基材表面沉积金属、合金、半导体、DLC类金刚石等单层或多层纳米材。

现有技术中，磁控溅射沉积成膜过程中，要求金属基材与镀膜辊接触良好，当镀膜辊表面有颗粒物时，基材被颗粒支撑起，镀膜辊难以带走金属基材的热量，基材受热变形，形成质量缺陷，通常镀膜辊表面尘粒的来源有：金属基材本身夹带的颗粒；镀膜辊本身没有清理干净；磁控溅射卷绕镀膜在抽真空阶段，由于气流的冲击，真空室内的灰尘飘落到镀膜辊表面，对镀膜的质量产生影响，所以镀膜辊表面的清洁状态直接影响着镀膜的质量，同时，镀膜辊表面的温度也会影响镀膜的质量，且现有的测控溅射镀膜设备，在对镀膜前后金属基材的安装拆卸也极为不便，易在拆装过程中使灰尘进入镀膜室，同时拆装效率低下，操作繁琐，会占用镀膜设备大量的工作时间，影响镀膜效率，为此我们提出了一种利用磁控溅射多功能镀膜设备来解决该类问题。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种利用磁控溅射多功能镀膜设备。

为实现上述目的，本发明采用如下的技术方案。

一种利用磁控溅射多功能镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室的内部安装有两个固定盒，两个所述固定盒的内部分别安装有收卷辊与放卷辊，所述镀膜室内部的左右两侧均安装有静电吸附板，所述镀膜室内部的左右两侧均固定连接有固定板，所述固定板的外侧安装有气囊框，所述气囊框的外侧设置有充气组件，所述固定板上设置有排尘组件，所述镀膜室的内部安装有镀膜辊，所述镀膜室的内底壁安装有一组磁控溅射靶，所述镀膜室的内部安装有水箱，所述水箱的内部滑动连接有支撑板，所述支撑板的内部铰接有两个铰接杆，所述铰接杆的一端安装有清洁棉辊，所述清洁棉辊的内部安装有加热环，所述清洁棉辊的外侧与镀膜辊的外侧接触，所述铰接杆的中部铰接有滑动杆，两个所述滑动杆相对的一端设置有套管，两个所述滑动杆相对的一端均滑动连接至套管的内部，所述套管的中部安装有挤压块，所述水箱的底部固定连接有两个与其连通的导水管，所述导水管的底端固定连接有吸湿棉块，所述挤压块的外侧与吸湿棉块的外侧接触，所述镀膜室的内部设置有往复组件，所述支撑板的内部固定连接有进水管，所述进水管的一端贯穿水箱并滑动连接至镀膜室的外侧，所述镀膜室的内部设置有夹持组件，所述水箱的内部安装有制冷器，所述镀膜室的外侧安装有温度检测器，所述镀膜室的顶部安装有真空管。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述往复组件包括伺服电机、凸轮、抵触板与两个第一弹簧，所述伺服电机安装至镀膜室的内部，所述伺服电机的输出轴通过联轴器与凸轮固定连接，所述抵触板安装至进水管的中部，所述凸轮的外侧与抵触板的外侧接触，所述第一弹簧的一端固定连接至抵触板的外侧，所述第一弹簧的另一端固定连接至水箱的外侧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述水箱内部的左右两侧均开设有通槽，所述通槽内部安装有两个波纹管，两个所述波纹管相对的一端均安装至支撑板的外侧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述铰接杆的中部固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定连接至水箱的外侧。