[发明专利]一种双波长复合激光干涉仪系统

权利要求书

1.一种双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，包括远红外干涉仪光路模块、双波导、微波干涉仪光路模块和双层平台；

所述双层平台上设有等离子体和用于返回穿过所述等离子体的光束的角反射镜；

所述远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；

所述远红外波段气体激光器的光信号输出端依次通过所述远红外激光器台面光路、所述双波导输出至所述双层平台；所述远红外激光干涉仪光路器件，其设于所述双层平台的底层，用于将接收到的远红外光束进行分束，并接收由所述角反射镜返回的光束；

所述微波干涉仪光路模块设于所述双层平台的顶层，其包括两台微波固体源和微波干涉仪光路器件，所述微波干涉仪光路器件用于将所述微波固体源产生的微波光束进行分束，接收由所述角反射镜返回的光束，所述微波干涉仪光路器件还用于将所述微波光束和所述远红外光束进行合束，以实现角反射镜的振动误差补偿。

2.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外波段气体激光器和所述远红外激光器台面光路设于激光洁净室内。

3.如权利要求2所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外波段气体激光器的主体部分和所述远红外激光器台面光路均设于光学平台上。

4.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述微波固体源为太赫兹固体倍频源。

5.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述双层平台为双层减振无磁平台，且所述双层平台的高度可调。

6.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述双波导由两根派热克斯玻璃及支架组成。

7.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述角反射镜为铝制镀金材质。

8.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外激光器台面光路至少包括分光栅网、转动光栅、第一探测器；

所述第一探测器用于将经由所述分光栅网后产生的光束与经由所述转动光栅后产生的光束合束，以生成拍频信号；

经由所述分光栅网后产生的光束还用于输出至所述双波导。

9.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述远红外激光干涉仪光路器件至少包括两个45度角栅网、一个45度角反射镜和三个探测道探测器；

所述远红外光束被两个所述45度角栅网和一个所述45度角反射镜分为三束，在穿过所述等离子体后由所述角反射镜返回，分别被对应的所述探测道探测器接收。

10.如权利要求1所述的双波长复合激光干涉仪系统，其特征在于，所述微波干涉仪光路器件至少包括参考/探测道探测器、四个栅网，四个所述栅网用于对所述微波光束进行分束，所述参考/探测道探测器用于接收由所述角反射镜返回的光束。