[发明专利]一种高端装备用高转速高寿命主轴箱

说明书

本发明涉及一种高端装备用高转速高寿命主轴箱，包括套筒、轴承组轴芯，轴芯通过轴承组安装在套筒上，第一迷宫密封装置分别与轴芯和套筒连接，且位于套筒的两端；前压盖固定在套筒的一端，设有外排孔和前气道；第二密封环固定在前压盖上且与轴芯活动连接；第二迷宫密封装置分别与轴芯和前压盖连接，且位于第一迷宫密封装置的一侧；轴外盖固定在轴芯上且活动插在前压盖内；锁紧装置安装在轴芯上且位于第一迷宫密封装置的一侧，用于将轴承组和第一迷宫密封装置固定在轴芯上；后压盖固定在套筒的另一端；后挡盖固定在后压盖上；第三密封环固定在后挡盖上且活动插在轴芯上。该主轴箱通过迷宫密封结构和气幕实现防尘，径向承载能力好、使用寿命长。

技术领域

本发明涉及一种主轴箱，尤其是一种高端装备用高转速高寿命主轴箱。

背景技术

全球硅片产量连年来持续提升，国内对硅片的需求也在快速上升。但是目前的产量仍无法满足下游市场的需求，尤其是大尺寸硅片。硅片尺寸从158/166/182 发展到210，各类专机层出不穷以满足客户的需求。主轴箱是切片机的核心部件，主轴箱需要达到高速化、高承载、高寿命的要求。由于切割时产生大量的硅粉以及切削液混合杂质，硅粉和杂质容易进入到主轴内部，并且该杂质粘性强，固化快，难以排除，导致主轴箱的使用寿命较短。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种能够有效防止硅粉和杂质进入主轴箱内部、主轴箱使用寿命长的一种高端装备用高转速高寿命主轴箱，具体技术方案为：

一种高端装备用高转速高寿命主轴箱，包括：套筒；轴承组，所述轴承组分别安装在所述套筒的两端；轴芯，所述轴芯安装在所述轴承组上，所述轴芯的一端设有定位环；第一迷宫密封装置，所述第一迷宫密封装置分别与所述轴芯和所述套筒连接，且位于所述套筒的两端；前压盖，所述前压盖固定在所述套筒的一端，且位于所述第一迷宫密封装置的一侧，所述前压盖上设有外排孔和前气道；第二密封环，所述第二密封环固定在所述前压盖上，且与所述轴芯活动连接；第二迷宫密封装置，所述第二迷宫密封装置分别与所述轴芯和所述前压盖连接，且位于所述第一迷宫密封装置的一侧；轴外盖，所述轴外盖固定在所述轴芯上，且活动插在所述前压盖内；锁紧装置，所述锁紧装置安装在所述轴芯上，且位于所述第一迷宫密封装置的一侧，用于将所述轴承组和第一迷宫密封装置固定在所述轴芯上；后压盖，所述后压盖固定在所述套筒的另一端；后挡盖，所述后挡盖固定在所述后压盖上；及第三密封环，所述第三密封环固定在所述后挡盖上，且活动插在所述轴芯上；其中，所述第二密封环位于所述第一迷宫密封装置与所述第二迷宫密封装置之间，所述前气道位于所述第二密封环与所述第二迷宫密封装置之间，用于通过所述第二迷宫密封装置以及所述轴外盖与所述前压盖之间的间隙向外吹气。

优选的，所述第一迷宫密封装置包括：内迷宫环，所述内迷宫环固定在所述轴芯上，且压在所述轴承组的内圈上，所述内迷宫环上设有第一内迷宫槽；外迷宫环，所述外迷宫环固定在所述套筒上，且压在所述轴承组的外圈上，所述外迷宫环上设有第一外迷宫槽，所述第一外迷宫槽与所述第一内迷宫槽交错设置。

优选的，还包括：第一密封环，所述第一密封环固定在所述外迷宫环上，且活动插在所述内迷宫环上，所述第一密封环还位于所述轴承组的一侧。

优选的，还包括：第一储气槽，所述第一储气槽设置在所述前压盖上，且位于所述第二密封环与所述第二迷宫密封装置之间，所述第一储气槽还与所述前气道相通。

优选的，所述第二迷宫密封装置包括：第二内迷宫槽，所述第二内迷宫槽设置在所述前压盖上；及轴内盖，所述轴内盖固定在所述轴芯上，且活动插在所述前压盖内，所述轴内盖上设有第二外迷宫槽，所述第二外迷宫槽与所述第二内迷宫槽交错设置。

进一步的，所述轴内盖的外径不小于所述轴芯的直径的两倍。

优选的，所述轴外盖的外圆面设有若干圆弧槽。

优选的，所述轴外盖上设有第二储气槽，所述第二储气槽位于所述第二迷宫密封装置的一侧，且所述第二储气槽与所述外排孔相通。