[发明专利]一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法

权利要求书

1.一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：包括反应炉（1），所述反应炉（1）内部贯通连接有提拉杆（2），所述反应炉（1）内部固定有多个预警环（3），所述预警环（3）内部固定有多个导温块（4），所述预警环（3）内部且位于导温块（4）的外部开设有储气仓（5），所述储气仓（5）两侧均滑动连接有挤压塞（6），所述挤压塞（6）外部固定有检测环（7），所述检测环（7）外部滑动连接有变阻器（8），所述变阻器（8）与预警环（3）固定连接；

所述反应炉（1）顶部的两侧均贯通连接有导气管（9），所述导气管（9）远离反应炉（1）的一端与空气泵的输出端相连接，所述导气管（9）靠近提拉杆（2）的一侧设置有排气环（10），所述排气环（10）与反应炉（1）固定连接，所述排气环（10）下方贯通连接有冷却喷嘴（11），所述冷却喷嘴（11）与反应炉（1）贯通连接。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述导气管（9）与排气环（10）之间滑动连接有升降架（13），所述升降架（13）与提拉杆（2）贯通连接，所述升降架（13）与反应炉（1）的内壁滑动连接，所述升降架（13）与反应炉（1）之间固定有复位弹簧（14），所述提拉杆（2）外部且位于排气环（10）的顶面固定有挤压块（12）。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述排气环（10）内部固定有螺旋板（15），所述螺旋板（15）外部固定有多个支撑杆（16），所述支撑杆（16）远离螺旋板（15）的一端转动连接有匀化风叶（17）。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述冷却喷嘴（11）内部设置有一对闭合板（18），一对所述闭合板（18）可以将冷却喷嘴（11）完全封闭，一对所述闭合板（18）靠近冷却喷嘴（11）内壁的一端均安装有开合组件，所述开合组件用以在排气环（10）内部的气体压强达到一定程度后带动两个闭合板（18）分离。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述开合组件包括转动环（19），所述转动环（19）通过扭簧与排气环（10）固定连接，所述转动环（19）与反应炉（1）转动连接，所述转动环（19）内壁固定有转向块（20），所述转向块（20）远离转动环（19）的一侧滑动连接有滑动块（21），所述滑动块（21）外部滑动连接有限位杆（22），所述限位杆（22）与反应炉（1）固定连接，所述限位杆（22）与滑动块（21）之间固定有收缩弹簧（23）。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述限位杆（22）外部且远离滑动块（21）的一侧固定有阻挡块（24）。

7.根据权利要求4所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：一对所述闭合板（18）靠近排气环（10）的一侧固定有弹性滤网（25）。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述挤压塞（6）远离储气仓（5）的一侧固定有导动杆（26），所述导动杆（26）远离挤压塞（6）的一端滑动连接有转动杆（27），所述转动杆（27）中间通过定位销与预警环（3）转动连接，所述转动杆（27）远离预警环（3）的一端转动连接有转动风叶（28）。

9.一种碳化硅生产用预警装置使用方法，其特征在于：该使用方法适用于权利要求1-8中任意一项所述一种碳化硅生产用预警装置，该方法包括以下步骤：

S1、通过外部的空气泵向反应炉（1）的内部充入气体，对碳化硅晶棒进行降温；

S2、反应炉（1）内部的温度下降，从而使得储气仓（5）内部的温度下降；

S3、储气仓（5）内的温度下降导致其内部的压强出现变化，从而带动挤压塞（6）滑动，进而带动检测环（7）在变阻器（8）内滑动；

S4、通过监控多个变阻器（8）在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化是否合格。