[发明专利]大面积钙钛矿膜层的退火方法、退火设备及其应用在审
申请号: | 202210490439.1 | 申请日: | 2022-05-07 |
公开(公告)号: | CN114843409A | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 王保增;方主亮;孙建侠;钱家栋;范春琳;田清勇;范斌 | 申请(专利权)人: | 昆山协鑫光电材料有限公司 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 何胜男 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 大面积 钙钛矿膜层 退火 方法 设备 及其 应用 | ||
1.一种大面积钙钛矿膜层的退火方法,其特征在于,包括:
以选定波长的光按照设定辐照强度和设定辐照时间辐照钙钛矿膜层,实现一次退火;
在完成一次退火后,采用加热装置对所述钙钛矿膜层进行均匀加热,实现二次退火。
2.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿膜层的退火方法,其特征在于,具体包括:
使钙钛矿膜层以设定速度通过光源的辐照区域,从而完成一次退火,所述光源能够发射所述选定波长的光;以及
使经过一次退火的钙钛矿膜层进入加热装置的加热区域,并进行二次退火。
3.根据权利要求1或2所述的大面积钙钛矿膜层的退火方法,其特征在于:所述选定波长的光包括紫外光,所述设定辐照强度为0.1~3W/cm2,所述设定辐照时间为1~10s;
和/或,所述二次退火采用的温度为100-150℃、时间为10-30分钟;
和/或,所述加热装置包括隧道炉、层次炉或烘箱。
4.一种大面积钙钛矿膜层的退火设备,其特征在于,包括光源、加热装置和传送装置;
其中,所述光源能够发射所述选定波长的光,且所述光源的辐照区域被设置为一次退火区域,用于对钙钛矿膜层进行一次退火;
所述加热装置的加热区域被设置为二次退火区域,用于对所述钙钛矿膜层进行二次退火;
所述传送装置至少用于驱使所述钙钛矿膜层依次通过所述一次退火区域和二次退火区域。
5.根据权利要求4所述的大面积钙钛矿膜层的退火设备,其特征在于:所述光源包括紫外光源,并且所述一次退火区域内紫外光的辐照强度为0.1~3W/cm2,以及,所述传送装置驱使所述钙钛矿膜层通过所述一次退火区域的时间为1~10秒。
6.根据权利要求4所述的大面积钙钛矿膜层的退火设备,其特征在于:所述二次退火区域内的温度为100-150℃、所述传送装置驱使所述钙钛矿膜层通过所述二次退火区域的时间为10-30分钟。
7.根据权利要求4所述的大面积钙钛矿膜层的退火设备,其特征在于:所述传送装置包括传动带,所述传送带连续通过所述一次退火区域和二次退火区域。
8.一种钙钛矿电池组件的制备方法,包括分别制作第一电极、第一修饰层、钙钛矿层、第二修饰层、第二电极的步骤;
其特征在于,其中制作钙钛矿层的步骤包括:
制作钙钛矿膜层;以及
以权利要求1-3中任一项所述的方法对所述钙钛矿膜层进行退火。
9.根据权利要求8所述的钙钛矿电池组件的制备方法,其特征在于,具体包括:将钙钛矿前驱体溶液涂覆在第一修饰层上形成涂层,之后对所述涂层进行干燥处理,从而形成所述钙钛矿膜层。
10.一种钙钛矿电池组件,其特征在于,它是由权利要求8-9中任一项所述方法制得的。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山协鑫光电材料有限公司,未经昆山协鑫光电材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210490439.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择