[发明专利]激光共聚焦显微成像系统和方法

权利要求书

1.一种激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述激光共聚焦显微成像系统包括：

激光共聚焦扫描装置，包括激光器、扫描镜和透镜组件，所述扫描镜包括扫描镜本体和微机电单元，所述扫描镜本体设置在所述激光器的出射光路上，所述微机电单元用于驱动所述扫描镜本体转动以改变所述扫描镜本体的出射光偏转角，所述透镜组件设置在所述扫描镜本体的出射光路上，所述透镜组件用于接收所述扫描镜的出射光并调制到显微物镜的后口上成平行光束；

显微物镜，用于接收所述平行光束并汇聚所述平行光束形成光斑照射到待测样品上，并激发待测样品产生荧光信号；

荧光探测装置，用于获取所述荧光信号，并将所述荧光信号转化为电信号并成像；

控制装置，分别与所述激光共聚焦扫描装置和所述荧光探测装置电连接。

2.根据权利要求1所述的激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述微机电单元包括多个静电驱动式微电机，所述多个静电驱动式微电机用于驱动所述扫描镜本体在二维方向旋转。

3.根据权利要求1所述的激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述激光共聚焦扫描装置还包括扩束镜，所述扩束镜设置在所述激光器的出射光路上，并且所述扩束镜位于所述激光器和所述扫描镜之间。

4.根据权利要求1所述的激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述透镜组件包括：扫描透镜和套筒透镜，所述扫描透镜设置在所述扫描镜的出射光路上，所述套筒透镜设置在所述扫描透镜的出射光路上，所述扫描透镜与所述套筒透镜组合使用，将所述扫描镜的平行出射光调制到所述显微物镜的后口。

5.根据权利要求4所述的激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述扫描透镜的视场范围与所述扫描镜的出射光的照射范围相适应。

6.根据权利要求4所述的激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述套筒透镜的视场范围与所述扫描透镜的出射光的照射范围相适应。

7.根据权利要求1至6任一项所述的激光共聚焦显微成像系统，其特征在于，所述荧光探测装置包括光电探测器，所述光电探测器用于接收所述待测样品产生的荧光信号，并将其转换为电信号。

8.一种激光共聚焦显微成像方法，根据权利要求1至7任一项所述的激光共聚焦显微成像系统实施，其特征在于，所述激光共聚焦显微成像方法包括以下步骤：

控制激光器发射激光；

控制微机电单元控制扫描镜接收所述激光并调节扫描镜的出射光偏转角；

控制荧光探测装置接收待测样品上产生的荧光信号，所述激光经所述扫描镜反射以及透镜组件入射至显微物镜的后口并汇聚成光斑，所述光斑照射到样品台的待测样品上，并激发待测样品产生所述荧光信号；

控制所述荧光探测装置将所述荧光信号转化成电信号并成像。

9.根据权利要求8所述的激光共聚焦显微成像方法，其特征在于，所述控制微机电单元调节扫描镜的出射光偏转角包括：

控制微机电单元调节扫描镜的出射光偏转角，使所述光斑沿成像要求的模式移动扫描样品。