[发明专利]等离子体电源和等离子放电方法

说明书

本发明实施例公开了一种等离子体电源和等离子放电方法。该等离子体电源包括交流开关、主控制器、多个脉冲模组和等离子体装置；交流开关连接并联的多个脉冲模组，用于接入交流电；主控制器连接并联的多个脉冲模组，用于向相应的脉冲模组输入相应控制信号，以使各个脉冲模组将交流电转换为对应的脉冲信号输出，各个脉冲模组输出的脉冲信号用于形成组合脉冲信号；多个脉冲模组连接等离子体装置，等离子体装置用于根据组合脉冲信号进行等离子体放电。本发明实施例通过主控制器向组合的多个脉冲模组发送控制信号以使各脉冲模组按照预定输出模式输出相应的组合脉冲信号，从而实现高频、高电压、大电流的脉冲输出。

技术领域

本发明涉及等离子体电源领域，尤其涉及一种等离子体电源和等离子放电方法。

背景技术

等离子体电源在工业生产等各个领域起着重要作用。在实际应用过程中，为了满足需求，需要实现高电压、大电流的脉冲输出，而普通的高压脉冲电源因功率器件性能参数的限制，单个开关组很难实现高频大功率的脉冲输出，因此，如何设置等离子体电源以输出高压大电流脉冲是急需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，为了解决现有技术带来的问题，本发明提供一种等离子体电源和等离子放电方法。

第一方面，本发明提供一种等离子体电源，包括：交流开关、主控制器、多个脉冲模组和等离子体装置；

所述交流开关连接并联的所述多个脉冲模组，还用于接入交流电；

所述主控制器连接并联的所述多个脉冲模组，用于向相应的脉冲模组输入相应的控制信号，以使各个所述脉冲模组将所述交流电转换为对应的脉冲信号输出，各个所述脉冲模组输出的所述脉冲信号用于形成组合脉冲信号；

所述多个脉冲模组连接等离子体装置，所述等离子体装置用于根据所述组合脉冲信号进行等离子体放电；

所述多个脉冲模组中设置有灭弧吸收电路，用于吸收所述等离子体装置中所产生的电弧。

在可选的实施方式中，所述等离子体电源还包括保护模块，所述保护模块连接所述多个脉冲模组；

所述保护模块包括第一预保护模块和第一检测模块；

所述第一检测模块连接所述多个脉冲模组，用于检测所述多个脉冲模组输出的总电流值和总电压值；

所述第一预保护模块连接所述第一检测模块，用于根据所述第一检测模块所检测的总电流值和总电压值向连接的所述多个脉冲模组输出保护信号。

在可选的实施方式中，所述脉冲模组包括：交直流变换模块、功率模块、驱动模块、第二检测模块、第二预保护模块以及防护模块；

所述交直流变换模块、所述功率模块和所述防护模块依次连接；

所述功率模块分别连接所述第二检测模块以及所述驱动模块；

所述第二预保护模块分别连接所述第二检测模块以及所述驱动模块，所述第二预保护模块用于根据所述第二检测模块所检测的所述功率模块输出的电流值和电压值，向所述驱动模块和所述主控制器输出保护信号，以使所述主控制器根据接收的所述保护信号向所述驱动模块调整控制信号；

所述驱动模块还分别连接所述第一预保护模块与所述第二预保护模块，所述驱动模块用于将所述控制信号和接收到的所述保护信号转换为驱动信号。

在可选的实施方式中，所述功率模块包括第一开关器件、第一无感电容、第一电感、第一续流二极管和第一尖峰吸收电路；

所述第一尖峰吸收电路连接所述第一开关器件，用于吸收所述第一开关器件产生的尖峰电压；

所述第一开关器件的一端分别连接所述第一无感电容与所述交直流变换模块，所述第一开关器件的另一端分别连接所述第一续流二极管和所述第一电感；