[发明专利]一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置

权利要求书

1.一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，包括防尘室(30)，其特征在于，所述防尘室(30)的内部一端安装有载盘搬运架(20)，所述防尘室(30)的内部另一端安装有机械手(10)，所述防尘室(30)的一侧设有铲片机构(40)；

所述铲片机构(40)包括安装于所述防尘室(30)一侧的机架(41)，设于所述机架(41)上表面的载盘装载组件(42)，以及设于所述机架(41)内部的定位组件(43)，所述载盘装载组件(42)包括安装于所述机架(41)上表面的装载架(421)，以及设于所述装载架(421)内部、且安装于所述机架(41)上表面的装载盘(422)；

所述定位组件(43)包括安装于所述机架(41)内部的支撑架(431)，安装于所述支撑架(431)下表面的气缸(432)，与所述气缸(432)的活塞杆贯穿所述支撑架(431)的一端相连接的升降盘(433)，以及与所述升降盘(433)的上表面相连接的负压吸附部件(434)，所述升降盘(433)的上表面连接有多个连杆推动部件(435)，所述连杆推动部件(435)的执行端连接有定位轮(436)，多个所述连杆推动部件(435)环绕所述负压吸附部件(434)设置。

2.根据权利要求1所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述装载盘(422)的壳体上设有供所述负压吸附部件(434)穿插的中心孔(4221)，所述装载盘(422)的壳体上设有以所述中心孔(4221)为中心轴对称设置的弧形检测长孔(4222)，所述装载盘(422)的壳体上设有环绕所述中心孔(4221)设置的滑动长孔(4223)。

3.根据权利要求2所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述连杆推动部件(435)包括与所述滑动长孔(4223)滑动连接、且贯穿所述定位轮(436)设置的滑动杆(4351)，安装于所述滑动杆(4351)延伸至所述机架(41)内部一端的滑块(4352)，安装于所述滑块(4352)下表面的第一铰接座(4353)，以及安装于所述升降盘(433)上表面的第二铰接座(4354)，所述第二铰接座(4354)与第一铰接座(4353)之间通过连杆(4355)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述定位轮(436)与滑动杆(4351)的外表面之间通过轴承相连接。

5.根据权利要求1所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述负压吸附部件(434)包括安装于所述升降盘(433)上表面的支撑筒(4341)，安装于所述支撑筒(4341)内部的旋转接头(4342)，与所述旋转接头(4342)的执行端相连接的负压吸盘(4343)。

6.根据权利要求5所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述负压吸附部件(434)还包括设于所述支撑筒(4341)内部、且安装于所述负压吸盘(4343)底端外表面的齿环(4344)，以及与所述齿环(4344)的外表面相啮合的第一齿轮(4345)，所述第一齿轮(4345)通过旋转轴(4346)与所述支撑筒(4341)转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述负压吸附部件(434)还包括套设于所述旋转轴(4346)底端外表面的第二齿轮(4347)，以及与多个所述第二齿轮(4347)啮合连接的第三齿轮(4348)，所述第三齿轮(4348)套设于电机(4349)的输出轴外表面，所述电机(4349)安装于所述支撑筒(4341)的内部底端。

8.根据权利要求7所述的一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，其特征在于，所述电机(4349)的输出轴外表面安装有编码器(434a)，所述编码器(434a)的一端安装于所述支撑筒(4341)的内表面。