[发明专利]惯性传感器以及惯性测量装置在审
| 申请号： | 202210508551.3 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN115342795A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 永田和幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 以及 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种惯性传感器，其特征在于，具备：
基板，在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，与所述Z轴正交，且设置有固定电极；
可动体，在沿着所述Z轴的Z轴方向上与固定电极对置，包括与所述Z轴正交的两个平面和连接所述两个平面的侧面，且被设置为能够以沿着所述X轴的摆动轴为中心而相对于所述基板摆动；以及
限制部，与所述可动体的所述侧面对置，并固定于所述基板，
所述可动体在与所述限制部对置的部分包括弹性部。
2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
所述弹性部包括在沿着所述Y轴的方向上突出的突出部。
3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
所述弹性部包括在沿着所述X轴的方向上突出的突出部。
4.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
所述弹性部包括在沿着所述Z轴的方向上突出的突出部。
5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
所述弹性部设置有贯通所述两个平面的贯通孔。
6.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
所述基板包括：氧化膜，设置在与所述可动体对置的面相反侧的面上。
7.一种惯性测量装置，其特征在于，包括：
权利要求1所述的惯性传感器；以及
控制部，基于从所述惯性传感器输出的检测信号来进行控制。
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