[发明专利]一种铟钨氧化物靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铟钨氧化物靶材的制备方法，包括以下步骤：

(1)按化学计量比，将氧化铟和氧化钨混合后在氧气氛围中进行煅烧，得到In₆WO₁₂；

(2)将所述步骤(1)得到的In₆WO₁₂与氧化铟、水、分散剂和粘结剂混合，得到IWO浆料；

(3)将所述步骤(2)得到的IWO浆料进行压力注浆，得到IWO素坯；

(4)将所述步骤(3)得到的IWO素坯依次进行脱脂处理和台阶变温烧结，得到铟钨氧化物靶材；

所述步骤(4)中的台阶变温烧结包括：

将脱脂处理得到的产物进行第一升温至第一台阶温度进行第一保温，然后进行第二升温至第二台阶温度，然后立刻进行第一降温至第三台阶温度进行第二保温，再进行第二降温至600℃；所述第一台阶温度为900～1100℃，所述第二台阶温度为1400～1500℃，所述第三台阶温度为1000～1300℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中煅烧的温度为700～1000℃，煅烧的时间为2～20h。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中In₆WO₁₂的质量为氧化铟质量的1～6％。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中分散剂的质量为In₆WO₁₂和氧化铟总质量的1.2～1.8％。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中粘结剂的质量为In₆WO₁₂和氧化铟总质量的0.3～1.0％。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中IWO浆料的固含量大于80％，IWO浆料的粘度小于100mPa·s。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中脱脂处理的温度为500～800℃，脱脂处理的保温时间为5～24h。