[发明专利]近空间升华装置、钙钛矿膜层及其制备系统和方法、电池

权利要求书

1.一种制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，其特征在于：

包括依次连通设置的进片腔室(1)、近空间升华腔室(2)和出片腔室(3)，以及用于将盛放有基片的基片架(4)由所述进片腔室(1)依次传送至所述近空间升华腔室(2)和所述出片腔室(3)的传动机构；

所述基片架(4)为沿高度方向间隔布置的多层，所述近空间升华腔室(2)内设有升华源(10)，且所述升华源(10)上设有用于蒸发的源材料(15)；

所述进片腔室(1)和所述近空间升华腔室(2)通过第一阀门(6)相连，并在所述进片腔室(1)内设置有用于驱使放置有所述基片架(4)的第一基底载台(5)升降的升降机构；

因所述升降机构驱使所述第一基底载台(5)升降，各所述基片架(4)被依次输送至预设高度，并由所述传动机构传送至所述近空间升华腔室(2)内。

2.根据权利要求1所述的制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，其特征在于：

升降机构包括设于所述进片腔室(1)内的驱动部，所述第一基底载台(5)与所述驱动部的驱动端传动相连。

3.根据权利要求1所述的制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，其特征在于：

所述近空间升华腔室(2)内设有用于承接所述传动机构输送的所述基片架(4)的第二基底载台(9)，且所述第二基底载台(9)与所述升华源(10)沿高度方向上下相对设置。

4.根据权利要求3所述的制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，其特征在于：

所述第二基底载台(9)沿高度方向往复升降设置，且所述升华源(10)沿水平方向往复滑动设置；和/或，

所述升华源(10)沿高度方向往复升降设置，且所述第二基底载台(9)沿水平方向往复滑动设置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，其特征在于：

所述升华源(10)包括盒体(1001)，以及设于所述盒体(1001)内的多个面式升华源本体(1002)。

6.根据权利要求5所述的制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，其特征在于：

所述升华源本体(1002)包括呈盒状的升华腔室，所述升华腔室顶部开口设置并盖设有盖板(10021)，所述升华腔室内置有所述源材料(15)，所述盖板(10021)上设有连通所述升华腔室内部并将蒸发后的所述源材料(15)喷出的喷嘴(16)。

7.一种制备钙钛矿膜层的系统，其特征在于：

所述系统包括如权利要求1至6中任一项的所述制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置，与所述近空间升华装置相连的涂布设备，以及与所述涂布设备相连的基片退火设备。

8.一种制备钙钛矿膜层的方法，其特征在于，包括：

S1、在近空间升华装置中制备钙钛矿骨架层，其中，通过传动机构带动基片架(4)由进片腔室(1)进入近空间升华腔室(2)，在所述近空间升华腔室(2)中，先通过升华源(10)上的源材料(15)升华，以在所述基片架(4)的基片上形成一层无机骨架层，再将所述基片架(4)经由出片腔室(3)进入涂布设备；

S2、在所述涂布设备中，在所述无机骨架层上涂布一层有机物层，然后将所述基片输送至基片退火设备；

S3、在所述基片退火设备中，使所述有机物层和所述无机骨架层发生反应，以得到钙钛矿膜层。

9.一种钙钛矿膜层，其特征在于：

所述钙钛矿膜层由权利要求8所述的方法制备得到。

10.一种钙钛矿太阳能电池，其特征在于：

包括基底，以及依次层叠地设于所述基底上的第一电荷传输层、钙钛矿吸收层、第二电荷传输层和背电极，且所述钙钛矿吸收层为权利要求9所述的钙钛矿膜层。