[发明专利]单元的监测方法、装置、设备和存储介质

权利要求书

1.一种单元的监测方法，其特征在于，所述方法应用于光阻覆盖显影设备中，所述方法包括：

当确定存在目标单元时，将所述目标单元的工作模式切换为监测模式，所述目标单元是所述设备中存在硬件故障或工艺条件不良的单元，在所述监测模式下所述目标单元保持锁定状态，在所述锁定状态下，产品晶圆不能进入所述目标单元，所述产品晶圆是用于集成半导体器件产品的晶圆；

在不对所述设备进行停机的情况下，对所述目标单元进行监测；

当所述监测完成但所述监测结果未出来时，保持所述目标单元处于所述锁定状态。

2.根据权利要求1所述的监测方法，其特征在于，所述对所述目标单元进行监测，包括：

通过所述目标单元中运行的废片晶圆对所述目标单元进行所述监测，所述废片晶圆是不用于集成所述半导体器件产品的晶圆。

3.根据权利要求1或2所述的监测方法，其特征在于，当所述监测结果为正常时，将所述目标单元由所述监测模式切换为正常模式，在所述正常运行模式下，所述产品晶圆能够进入所述目标单元。

4.根据权利要求3所述的监测方法，其特征在于，当所述监测结果为不正常时，使所述目标单元保持所述锁定状态。

5.一种单元的监测装置，其特征在于，所述监测装置应用于光阻覆盖显影设备中，所述装置包括：

控制模块，用于当确定存在目标单元时，将所述目标单元的工作模式切换为监测模式，所述目标单元是所述设备中存在硬件故障或工艺条件不良的单元，在所述监测模式下所述目标单元保持锁定状态，在所述锁定状态下，产品晶圆不能进入所述目标单元，所述产品晶圆是用于集成半导体器件产品的晶圆；

监测模块，用于在不对所述设备进行停机的情况下，对所述目标单元进行监测；

所述控制模块，还用于当所述监测完成但所述监测结果未出来时，保持所述目标单元处于所述锁定状态。

6.根据权利要求5所述的监测装置，其特征在于，所述监测模块，还用于通过所述目标单元中运行的废片晶圆对所述目标单元进行所述监测，所述废片晶圆是不用于集成所述半导体器件产品的晶圆。

7.根据权利要求5或6所述的监测装置，其特征在于，所述控制模块，还用于当所述监测结果为正常时，将所述目标单元由所述监测模式切换为正常模式，在所述正常运行模式下，所述产品晶圆能够进入所述目标单元。

8.根据权利要求7所述的监测装置，其特征在于，所述控制模块，还用于当所述监测结果为不正常时，使所述目标单元保持所述锁定状态。

9.一种控制设备，其特征在于，所述控制设备应用于光阻覆盖显影设备中，所述控制设备包括处理器和存储器，所述存储器中存储有至少一条指令或程序，所述指令或程序由所述处理器加载并执行以实现如权利要求1至4中任一所述的单元的监测方法。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质中存储有至少一条指令，所述指令由处理器加载并执行以实现如权利要求1至4中任一所述的单元的监测方法。