[发明专利]一种阵列超声换能器及其制备方法

权利要求书

1.一种阵列超声换能器，其特征在于，包括依次设置的背衬层、压电层和匹配层，所述压电层包括设置在一侧表面的地电极面和设置在另一侧表面的信号电极面，所述地电极面和所述信号电极面分别具有电极，所述信号电极面的电极割开以形成多个阵元；

还包括柔性电路板，所述柔性电路板与所述压电层电性连接以将所述压电层的所述阵元引出，所述柔性电路板包括基板和电极，所述柔性电路板的电极设置在所述基板上，所述柔性电路板的电极为网格状且相对于所述基板凸起。

2.根据权利要求1所述的阵列超声换能器，其特征在于，所述地电极面的电极割开以形成多个电极单元，所述压电层上设置导电结构用于联通所述压电层的多个所述电极单元。

3.根据权利要求1所述的阵列超声换能器，其特征在于，在所述压电层上，每个所述阵元中形成有切缝，所述切缝将所述阵元分为两个或两个以上的阵元单元，所述切缝从所述地电极面向所述信号电极面方向延伸。

4.根据权利要求1所述的阵列超声换能器，其特征在于，所述柔性电路板上形成有阵元间切缝，所述阵元间切缝分割所述柔性电路板的电极，所述阵元间切缝与所述压电层上的所述阵元之间形成的间隙位置对应。

5.根据权利要求1所述的阵列超声换能器，其特征在于，所述柔性电路板上的电极形成的网格形状包括圆形、椭圆形、扇形或多边形。

6.一种阵列超声换能器的制备方法，用于制备权利要求1-5任一项所述的阵列超声换能器，其特征在于，包括：

制备压电层；

将所述压电层与柔性电路板和背衬层连接；

切割所述压电层和所述柔性电路板以划分阵元；

其中，所述柔性电路板包括基板和电极，所述电极设置在所述基板上，所述电极为网格状且相对于所述基板凸起，所述压电层包括设置在一侧表面的地电极面，所述地电极面具有电极，在所述压电层上设置导电结构，所述导电结构用于联通所述地电极面的电极。

7.根据权利要求6所述的阵列超声换能器的制备方法，其特征在于，“切割所述压电层和所述柔性电路板以划分阵元”之后，还包括：

在每个所述阵元中切割压电层。

8.根据权利要求7所述的阵列超声换能器的制备方法，其特征在于，在“切割所述压电层和所述柔性电路板以划分阵元”之前，将所述压电层与匹配层连接；

或，在“在每个所述阵元中切割压电层”之后，将所述压电层与匹配层连接。

9.根据权利要求6所述的阵列超声换能器的制备方法，其特征在于，“在所述压电层上设置导电结构”包括：

在“制备压电层”之后，“将所述压电层与柔性电路板和背衬层连接”之前；

沿所述压电层的宽度方向在所述压电层的一端或两端上覆盖导电铜箔，所述导电铜箔覆盖所述压电层的一侧的地电极面的部分区域且向所述压电层的另一侧延伸。

10.根据权利要求7所述的阵列超声换能器的制备方法，其特征在于，“在所述压电层上设置导电结构”包括：

“在每个所述阵元中切割压电层”之后；

在切割所述压电层形成的切缝中填充绝缘材料，所述绝缘材料固化后在所述压电层上涂抹导电胶以将所述地电极面的多个电极单元联通。