[发明专利]用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构

说明书

本发明一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路，支管路的两端分别连接有泵和喷头，支管路上沿水流方向依次设有第一支管道三通、支管道两通球阀和第二支管道三通，第一支管道三通与第二支管道三通之间设有与支管路并联的主管路，主管路的两端分别与第一支管道三通与第二支管道三通连接，主管路上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀、透明过滤器、由令、第二主管路两通球阀和流量计。本发明通过增加支路，可以在设备基本不停机情况下进行透明过滤器清理，有效提高设备的利用率。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构。

背景技术

外延水洗尾气处理频率高约四天一次，每次处理需要主机台降温，停机约3H，对产能影响很大。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构。

本发明通过如下技术方案实现上述目的：一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路，支管路的两端分别连接有泵和喷头，支管路上沿水流方向依次设有第一支管道三通、支管道两通球阀和第二支管道三通，第一支管道三通与第二支管道三通之间设有与支管路并联的主管路，主管路的两端分别与第一支管道三通与第二支管道三通连接，主管路上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀、透明过滤器、由令、第二主管路两通球阀和流量计。

优选的，泵还连接有循环水进水管路。

优选的，第一支管道三通与第二支管道三通型号相同。

优选的，支管道两通球阀、第一主管路两通球阀和第二主管路两通球阀型号相同。

优选的，透明过滤器具有可拆卸滤芯。

与现有技术相比，本发明一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构的有益效果是：本发明通过增加支路，可以在设备基本不停机情况下进行透明过滤器清理，有效提高设备的利用率。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。

在附图中：

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

为了保持本发明实施例的以下说明清楚且简明，本发明省略了已知功能和已知部件的详细说明。

请参阅图1，一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路11，支管路11的两端分别连接有泵10和喷头12，支管路11上沿水流方向依次设有第一支管道三通1、支管道两通球阀8和第二支管道三通7。

第一支管道三通1与第二支管道三通7之间设有与支管路11并联的主管路9，主管路9的两端分别与第一支管道三通1与第二支管道三通7连接，主管路9上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀2、透明过滤器3、由令4、第二主管路两通球阀5和流量计6。

泵10还连接有循环水进水管路13。

第一支管道三通1与第二支管道三通7型号相同。

支管道两通球阀8、第一主管路两通球阀2和第二主管路两通球阀5型号相同。

透明过滤器3具有可拆卸滤芯。

本发明的工作原理：