[发明专利]辅助装置

说明书

本发明提供辅助装置，该辅助装置能够自动地更换切削刀具，该辅助装置能够后续安装于已经交付给用户的切削装置。与切削装置连结的辅助装置包含：切削刀具保管单元，其对多个切削刀具进行保管；搬出搬入单元，其对切削刀具的正面进行保持而将切削刀具相对于切削刀具保管单元搬出和搬入；Y轴方向定位单元，其将搬出搬入单元相对于切削刀具保管单元定位于Y轴方向的作用位置和退避位置；Z轴移动单元，其使搬出搬入单元在Z轴方向上移动；以及X轴移动单元，其使搬出搬入单元在X轴方向上移动而对安装在切削装置的切削单元的主轴上的切削刀具进行作用。

技术领域

本发明涉及与切削装置连结的辅助装置。

背景技术

由交叉的多条分割预定线划分而在正面上形成有IC、LSI等多个器件的晶片通过切削装置分割成各个器件芯片，分割得到的各器件芯片用于移动电话、个人计算机等电子设备。

切削装置具有：卡盘工作台，其具有对晶片进行保持的保持面；切削单元，其利用固定螺母安装有对卡盘工作台所保持的晶片进行切削的切削刀具；X轴进给单元，其将卡盘工作台在X轴方向上进行加工进给；Y轴进给单元，其将切削单元在与X轴方向垂直的Y轴方向上进行分度进给；以及Z轴进给单元，其将切削单元在与X轴方向和Y轴方向垂直的Z轴方向上进行切入进给，保持面由X轴方向和Y轴方向限定，该切削装置能够将晶片高精度地分割成各个器件芯片。

本申请人提出了能够自动地更换安装于切削单元的切削刀具的自动更换装置(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2007-98536号公报

但是，存在如下的问题：将自动更换装置后续安装于已经交付给用户的切削装置是困难的。

发明内容

由此，本发明的目的在于提供能够后续安装于已经交付给用户的切削装置的辅助装置。

根据本发明，提供辅助装置，其与切削装置连结，该切削装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；切削单元，其利用固定螺母安装有对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的切削刀具；X轴进给单元，其将该卡盘工作台在X轴方向上进行加工进给；Y轴进给单元，其将该切削单元在与该X轴方向垂直的Y轴方向上进行分度进给；以及Z轴进给单元，其将该切削单元在与该X轴方向和该Y轴方向垂直的Z轴方向上进行切入进给，该保持面由该X轴方向和该Y轴方向限定，其中，该辅助装置具有：切削刀具保管单元，其对多个切削刀具进行保管；搬出搬入单元，其对切削刀具的正面进行保持而将切削刀具相对于该切削刀具保管单元搬出和搬入；Y轴方向定位单元，其将该搬出搬入单元相对于该切削刀具保管单元定位于Y轴方向的作用位置和退避位置；Z轴移动单元，其使该搬出搬入单元在Z轴方向上移动；X轴移动单元，其使该搬出搬入单元在X轴方向上移动而对安装在该切削单元的主轴上的切削刀具进行作用；以及清洗单元，其对该搬出搬入单元所保持的切削刀具的背面进行清洗。

优选该切削刀具保管单元包含：驱动齿轮，其具有沿Y轴方向延伸的旋转轴；从动齿轮，其与该驱动齿轮在Z轴方向上分开，具有沿Y轴方向延伸的旋转轴；履带，其绕挂于该驱动齿轮和该从动齿轮；以及支承轴，其沿Y轴方向延伸，以规定的间隔配设于该履带上，插入至切削刀具的中央开口部，对切削刀具进行支承，该清洗单元与该切削刀具保管单元相邻地配设，具有对该搬出搬入单元所保持的切削刀具的背面吹送空气而进行清洗的空气喷嘴。

优选该空气喷嘴配设于该切削刀具保管单元的该支承轴的背部，向该支承轴所支承的切削刀具的背部吹送空气而使切削刀具移动至该支承轴的前端，将切削刀具的正面定位于该搬出搬入单元。

优选该搬出搬入单元包含：Z旋转轴，其沿Z轴方向延伸；刀具保持部，其呈放射状与该Z旋转轴连结，对切削刀具进行吸引保持；以及固定螺母保持部，其将该固定螺母相对于形成在该主轴的前端的外螺纹拧紧和拧松，相对于1个该固定螺母保持部，具有2个该刀具保持部。