[发明专利]一种扩散尾气处理装置及方法在审
| 申请号： | 202210519173.9 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN114797370A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 胡克喜;李增彪;何悦;任勇;周东;王在发;郭帅;孙俊杰 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 边人洲 |
| 地址： | 322118 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 尾气 处理 装置 方法 | ||
1.一种扩散尾气处理装置，其特征在于，所述扩散尾气处理装置包括瓶体、冷却盘管、出气盘管以及与瓶体顶部连接的波纹管；
所述冷却盘管与出气盘管分别独立地盘绕于瓶体的外壁；
沿气体流动方向，所述冷却盘管包括依次设置的进气段与填料段，所述填料段的末端与瓶体的内腔连通；
所述出气盘管的首端与瓶体的内腔连通，出气盘管的末端与瓶体的颈部连通。
2.根据权利要求1所述的扩散尾气处理装置，其特征在于，所述冷却盘管沿所述瓶体的外壁中部向下盘绕；
优选地，所述出气盘管沿所述瓶体的外壁中部向上盘绕。
3.根据权利要求1或2所述的扩散尾气处理装置，其特征在于，所述进气段与填料段的长度比为(6-10):1；
优选地，所述填料段设置有石英填料；
优选地，所述石英填料的数量为20-30个；
优选地，所述石英填料包括圆柱状空心结构。
4.根据权利要求3所述的扩散尾气处理装置，其特征在于，所述石英填料的长度为9-11mm；
优选地，所述石英填料的内径为6.9-7.1mm，外径为7.9-8.1mm；
优选地，所述石英填料的柱管厚度为0.9-1.1mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的扩散尾气处理装置，其特征在于，所述瓶体的内腔包括吸收段，所述吸收段与瓶体的高度比为1:(14-15)。
6.一种应用权利要求1-5任一项所述扩散尾气处理装置的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：扩散尾气由冷却盘管进入扩散尾气处理装置，其中，部分扩散尾气经吸附以及反应留置在扩散尾气处理装置内，其余扩散尾气流经出气盘管与波纹管排出；
所述扩散尾气由磷源真空扩散得到。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述真空扩散的泵压为95-105mbar。
8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述磷源的通源量为950-1050sccm。
9.根据权利要求6-8任一项所述的方法，其特征在于，所述磷源包括三氯氧磷；
优选地，所述扩散尾气包括五氧化二磷气体、偏磷酸气体、五氯化磷气体以及三氯氧磷气体。
10.根据权利要求6-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：扩散尾气由冷却盘管进入扩散尾气处理装置，其中，部分扩散尾气经吸附以及反应留置在扩散尾气处理装置内，其余扩散尾气流经出气盘管与波纹管排出；所述扩散尾气由通源量为950-1050sccm的磷源在泵压95-105mbar下真空扩散得到。
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