[发明专利]用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法

权利要求书

1.一种用于防止通过激光束的增益元件进行反馈的系统，所述系统包括：

第一增益元件，沿着激光束的光路被定位；

第二增益元件，沿着所述光路被定位在所述第一增益元件之后；以及

隔离级，沿着所述光路被定位在所述第一增益元件与所述第二增益元件之间，所述隔离级被配置成使已经通过所述第二增益元件沿着所述光路往回反射的光转向，所述隔离级包括：

第一声光调制器，被配置成在第一时间段内，在其中光沿着所述光路被引导的第一状态与其中光未沿着所述光路被引导的第二状态之间转变，所述第一时间段基于所述激光束的直径；

第二声光调制器，被配置成在第二时间段内，在其中光沿着所述光路被引导的第一状态与其中光未沿着所述光路被引导的第二状态之间转变，所述第二时间段基于所述激光束的直径，并且所述第二声光调制器的所述转变发生在所述第一声光调制器的所述转变之后的时间处；以及

延迟装置，被定位在所述第一声光调制器与所述第二声光调制器之间，并且包括光束折叠光学布置，所述光束折叠光学布置包括被配置成使所述第一声光调制器与所述第二声光调制器之间的光的传输延迟基于所述声光调制器的第一转变时间和第二转变时间确定的时间的光学部件，使得通过了所述第二声光调制器的沿着所述光路往回反射的任何光将不会通过所述第一声光调制器，

其中所述延迟进一步基于光束成像的发生，

其中，如果发生光束成像，则所述延迟被进一步确定为使得所述激光束的第一部分由所述第二声光调制器转向，并且所述激光束的余下部分由所述第一声光调制器转向。

2.根据权利要求1所述的系统，进一步包括被定位在所述第二增益元件之外的一个或多个其他元件。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述一个或多个其他元件包括极紫外(EUV)等离子体室。

4.根据权利要求2所述的系统，其中所述一个或多个其他元件包括功率放大器。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一增益元件和所述第二增益元件包括前置放大器。

6.根据权利要求1所述的系统，进一步包括沿着所述光路被定位在所述第二增益元件之外的第二隔离级。

7.根据权利要求1所述的系统，进一步包括沿着所述光路被定位在所述第一增益元件与产生所述激光束的模块之间的第二隔离级。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述隔离级被进一步配置成通过使反射光转向来防止所述第一增益元件中的自发激光。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一声光调制器和所述第二声光调制器是交叉启动的。

10.一种用于防止通过激光束的增益元件进行反馈的方法，所述方法包括：

使从激光束生成的激光脉冲通过沿着光路被定位的第一增益元件；

使所述激光脉冲通过沿着所述光路被定位在所述第一增益元件之后的隔离级，所述隔离级被配置成使从位于所述隔离级之外的任何元件沿着所述光路往回反射的光转向，所述隔离级包括：

第一声光调制器，被配置成在第一时间段内，在其中光沿着所述光路被引导的第一状态与其中光未沿着所述光路被引导的第二状态之间转变，所述第一时间段基于所述激光束的直径；

第二声光调制器，被配置成在第二时间段内，在其中光沿着所述光路被引导的第一状态与其中光未沿着所述光路被引导的第二状态之间转变，所述第二时间段基于所述激光束的直径，并且所述第二声光调制器的所述转变发生在所述第一声光调制器的所述转变之后的时间处；以及

延迟装置，被定位在所述第一声光调制器与所述第二声光调制器之间，并且包括光束折叠光学布置，所述光束折叠光学布置包括被配置成使所述第一声光调制器与所述第二声光调制器之间的光的传输延迟基于所述声光调制器的第一转变时间和第二转变时间确定的时间的光学部件，使得通过了所述第二声光调制器的沿着所述光路往回反射的任何光将不会通过所述第一声光调制器；以及

使所述激光脉冲通过沿着所述光路被定位在所述隔离级之后的第二增益元件，

其中所述延迟进一步基于光束成像的发生，

其中，如果发生光束成像，则所述延迟被进一步确定为使得所述激光束的第一部分由所述第二声光调制器转向，并且所述激光束的余下部分由所述第一声光调制器转向。