[发明专利]一种perc电池的扩散退火工艺

权利要求书

1.一种perc电池的扩散退火工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将扩散炉石英管连接三氯氧磷扩散源，升温至880-920℃，通入携带扩散源的氮气和氧气至石英管中1-2h进行饱和工作；

S2、将硅片插入至石英舟，并将装满硅片的石英舟放置在碳化硅臂浆上，推入至扩散炉中；

S3、温度为600-650℃通入氧气，用于在硅片表面形成第一层氧化硅，维持12-17min，将石英管升温880-920℃，通入氧气和携带扩散源的氮气，进行扩散，维持5-10min；扩散源在高温下生成五氯化磷和五氧化二磷，五氧化二磷通过扩散与硅反应形成氧化硅和磷原子，由于氧气的加入五氯化磷与氧气反应，分解成五氧化二磷和氯气，生成的五氧化二磷再一次与硅反应；

S4、扩散结束后，温度持续下降至720-780℃一次退火，退火前加入氧气和足量的携带扩散源的氮气，持续5-10min，温度下降至600℃以下时，通入氧气和氮气进行二次退火，然后进行保温15-25min；温度下降至600℃以下时，分为3个阶段，第一阶段下降至680-700℃保温5min，第二阶段下降至620-650℃保温5min，第三阶段下降至600℃以下保温15-25min，每个阶段均缓慢降温15-20min；

S5、最后将石英舟取出，再取出硅片冷却至室温后存放至硅片盒中即可。

2.根据权利要求1所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述扩散炉外壁设置有温度传感器和环绕所述扩散炉外壁设置的冷却液循环管路，控制系统根据温度来控制冷却液循环管路的流速进而保证退火时间以及保温时间。

3.根据权利要求2所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述扩散源气体以喷射形式进入扩散炉内，炉内压力保持在2个大气压强。

4.根据权利要求1所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述S1中，携带扩散源的氮气的通入流量为800-1000sccm，氧气通入流量为500-600sccm。

5.根据权利要求1所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述S3中，第一氧气通入流量为800-1000sccm，第二次氧气通入流量为1300-1500sccm。

6.根据权利要求1所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述S3中，携带扩散源的氮气通入流量为2000-2600sccm。

7.根据权利要求1所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述S4中，第一次氧气通入流量为1500-2000sccm，携带扩散源的氮气通入流量为1800-2200sccm。

8.根据权利要求1所述的perc电池的扩散退火工艺，其特征在于：所述S4中，第二次氧气流量为2000-2500sccm，氮气通入流量为2200-2500sccm。