[发明专利]一种光学检测设备

权利要求书

1.一种光学检测设备，用于检测晶圆表面缺陷，其特征在于，所述光学检测设备包括：

支架组件；

载台，用于承载待检测晶圆；

第一主检镜头，安装于所述支架组件上，且所述第一主检镜头的摄像端朝向待检测晶圆背向所述载台的一侧面；

第二主检镜头，安装于所述支架组件上，且所述第二主检镜头的摄像端朝向待检测晶圆贴向所述载台的一侧面；

载台驱动单元，安装于所述支架组件上，用于承载且驱动所述载台，以使所述载台带动待检测晶圆在所述第一主检镜头的视场范围及所述第二主检镜头的视场范围内移动；

成像分析单元，分别与所述第一主检镜头及所述第二主检镜头电连接，用于获取所述第一主检镜头所拍摄的图像，及用于获取所述第二主检镜头所拍摄的图像；

所述第一主检镜头的摄像端朝向所述第二主检镜头的摄像端，且所述第一主检镜头的摄像端与所述第二主检镜头的摄像端沿垂直于所述载台的支撑面的方向设置，所述载台的支撑面具有透光结构；所述载台驱动单元能够驱动所述载台沿其支撑面所在平面的x方向和/或y方向移动，以使所述载台上的待检测晶圆上从第一检测位移至第二检测位；其中，当所述载台上的待检测晶圆处于所述第一检测位时，所述第一主检镜头能够获取所述待检测晶圆的第一上表面检测图，所述第二主检镜头能够获取对应于所述第一上表面检测图的第一下表面检测图；以及当所述载台上的待检测晶圆处于所述第二检测位时，所述第一主检镜头能够获取所述待检测晶圆异于所述第一上表面检测图的第二上表面检测图，所述第二主检镜头能够获取对应于所述第二上表面检测图的第二下表面检测图。

2.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述支架组件包括工作台和设于所述工作台上的龙门架、第一支架及第二支架；所述工作台的中部位置开设有通孔，所述第一支架经所述龙门架与所述第二支架对应设置，且两者位于所述工作台的上下两侧；所述第一主检镜头安装于所述第一支架上，使得所述第一主检镜头朝向所述载台上放置的待检测晶圆的上表面；所述第二主检镜头安装于所述第二支架上，使得所述第二主检镜头朝向所述载台上放置的待检测晶圆的下表面。

3.根据权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，所述载台驱动单元包括安装于所述工作台上的承载座、安装于所述承载座上用于驱动所述载台沿其支撑面所在平面的X轴向移动的X轴向驱动件、安装于所述X轴向驱动件上用于驱动所述载台沿其支撑面所在平面的Y轴向移动的Y轴向驱动件和安装于所述Y轴向驱动件上用于定位所述载台的定位座。

4.根据权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，所述第一主检镜头经第一线性滑台模组安装于所述第一支架上，且所述第一主检镜头上设有第一位移传感器，所述第一主检镜头能够经所述第一线性滑台模组驱动沿着Z轴方向运动；所述第一位移传感器用于测量所述第一主检镜头与所述待检测晶圆之间的距离，以使所述第一主检镜头能够对待检测晶圆进行对焦。

5.根据权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，所述第二主检镜头经第二线性滑台模组安装于所述第二支架上，且所述第二主检镜头上设有第二位移传感器，所述第二主检镜头经所述第二线性滑台模组驱动沿着所述载台的支撑面所在平面的Z轴方向运动；所述第二位移传感器用于测量所述第二主检镜头与所述待检测晶圆之间的距离，以使所述第二主检镜头能够对待检测晶圆进行对焦。

6.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述光学检测设备还包括设于所述支架组件上的第一复检镜头、第二复检镜头，所述第一复检镜头的摄像端朝向所述第二复检镜头的摄像端，且所述第一复检镜头的摄像端与所述第二复检镜头的摄像端沿垂直于所述载台的支撑面的方向设置；所述载台带动待检测晶圆移动以使待检测晶圆能够进入所述第一复检镜头及所述第二复检镜头的视场范围内；所述第一复检镜头及所述第二复检镜头分别与所述成像分析单元电连接，所述第一复检镜头用于获取待检测晶圆背向所述载台的一侧面的第一复检图，所述第二复检镜头用于获取待检测晶圆贴向所述载台的一侧面的第二复检图。