[发明专利]一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺

权利要求书

1.一种大尺寸衬底抛光用白垫，包括第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)，其特征在于：所述第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)之间的位置平行，且所述第一抛光白垫(1)与第二抛光白垫(2)之间的距离和第二抛光白垫(2)与第三抛光白垫(3)之间的距离相同，且所述第二抛光白垫(2)与第三抛光白垫(3)之间设置有第一抛光垫连接板(4)，所述第一抛光垫连接板(4)的两侧分别与第二抛光白垫(2)的一侧和第三抛光白垫(3)的一侧垂直相交，所述第一抛光白垫(1)与第二抛光白垫(2)之间设置有第二抛光垫连接板(5)，所述第二抛光垫连接板(5)的两侧分别与第一抛光白垫(1)的一侧和第二抛光白垫(2)的一侧垂直相交，所述第一抛光垫连接板(4)内部的两端和第二抛光垫连接板(5)内部的两端均安装有压缩弹簧杆(12)，通过压缩弹簧杆(12)的压力，将第一抛光垫连接板(4)和第二抛光垫连接板(5)与第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)之间连接处的强度提升；

所述第二抛光白垫(2)的前端面和后端面分别设置有第一抛光凹槽(201)和第二抛光凹槽(202)，所述第一抛光凹槽(201)和第二抛光凹槽(202)均与第二抛光白垫(2)设置为一体成型结构，所述第三抛光白垫(3)的前端面和后端面均设置有第三抛光凹槽(301)，所述第三抛光凹槽(301)与第三抛光白垫(3)设置为一体成型结构；

所述第三抛光凹槽(301)的深度大于第二抛光凹槽(202)的深度，所述第二抛光凹槽(202)的深度大于第一抛光凹槽(201)的深度，所述第一抛光白垫(1)与第二抛光白垫(2)之间设置有第一抛光槽(6)，所述第二抛光白垫(2)与第三抛光白垫(3)之间设置有第二抛光槽(7)。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第一抛光白垫(1)的内部中心设置有安装口(101)，所述安装口(101)的外周围设置有定位螺栓孔(102)，所述定位螺栓孔(102)和安装口(101)均与第一抛光白垫(1)设置为一体结构，且所述定位螺栓孔(102)和安装口(101)用于连接固定半导体抛光设备，所述第一抛光垫连接板(4)的内部中心设置有第一固定孔(401)，所述第二抛光垫连接板(5)的内部中心设置有第二固定孔(501)，所述第一固定孔(401)和第二固定孔(501)用于连接固定抛光垫主体。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)均包括有毛毡凹槽(13)、固性聚酯层(14)和抛光基圆(16)，所述毛毡凹槽(13)的外表面设置有抛光基圆(16)，所述抛光基圆(16)设置有若干个，所述毛毡凹槽(13)设置在第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)的前端面和后端面与第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)设置为一体成型结构，所述固性聚酯层(14)设置在第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)的内部中心，若干个所述抛光基圆(16)均布排列在毛毡凹槽(13)的外表面。

4.根据权利要求3所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于：所述第一抛光垫连接板(4)和第二抛光垫连接板(5)的内部均设置有亚克力高韧性挤出板(15)，所述亚克力高韧性挤出板(15)的两端均与固性聚酯层(14)连接，所述压缩弹簧杆(12)贯穿亚克力高韧性挤出板(15)与亚克力高韧性挤出板(15)固定连接，所述亚克力高韧性挤出板(15)用于提高第一抛光垫连接板(4)和第二抛光垫连接板(5)与第一抛光白垫(1)、第二抛光白垫(2)和第三抛光白垫(3)之间连接处的韧性。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸衬底抛光用白垫，其特征在于，所述固性聚酯层(14)所用原料的各成分重量份数配比如下：

聚乙烯树脂，20-40份；

环氧树脂，40-70份；

所述抛光基圆(16)所用原料的各成分重量份数配比如下：

纳米微粉，20-35份；

环氧树脂，30-60份；

所述亚克力高韧性挤出板(15)采用机玻璃和丝网混合印刷制得的亚克力板材。

6.一种根据权利要求5所述的大尺寸衬底抛光用白垫的生产工艺，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：选取20-40份聚乙烯树脂和40-70份环氧树脂材料进行混合打浆，混合过程中添加催化剂和助剂，通过反应釜和缩聚釜反应成浓缩固性聚酯；

步骤二：选取30-60份环氧树脂原料，将环氧树脂原料酯化后均匀混合20-35份纳米微粉，混合后放入模具中，制备出抛光基圆(16)粒子；

步骤三：将亚克力原料加热300℃进行软化后，表面印刷丝网均匀混合，混合后，采用挤出机挤出成型，制得亚克力高韧性挤出板(15)；

步骤四：将浓缩固性聚酯高温加热至130℃软化30-45min，软化后将亚克力高韧性挤出板(15)和浓缩固性聚酯放置在对应位置的模具中，浓缩固性聚酯与亚克力高韧性挤出板(15)的两端加热至350℃热熔15-20min，热熔过程中，在亚克力高韧性挤出板(15)的两侧插入压缩弹簧杆(12)，快速冷却，凝结成型；

步骤五：使用研磨机在成型后的抛光白垫外表面进行研磨，制得第一抛光凹槽(201)、第二抛光凹槽(202)和第三抛光凹槽(301)，在第一抛光凹槽(201)、第二抛光凹槽(202)和第三抛光凹槽(301)的内部盖入均匀排列的抛光基圆(16)粒子，进行高温加热130℃，加热15min后，快速贴附毛毡层，冷却后，制得成型的抛光白垫；

步骤六：对成型后的第一抛光白垫(1)、第一抛光垫连接板(4)和第二抛光垫连接板(5)通过切割机和钻孔机打孔，制得安装口(101)、定位螺栓孔(102)、第一固定孔(401)和第二固定孔(501)。