[发明专利]喷射驱动器、基板处理装置及方法

权利要求书

1.一种喷射驱动器，包括：

图像板，接收原始图像数据，并将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据；

接口板，与所述图像板物理分离，并且接收所述图像数据并通过多个信道向多个头传送所述图像数据。

2.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，

所述图像板包括FPGA，以及

根据所使用的所述头的类型，重新编程所述FPGA。

3.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，所述接口板还包括：

多个差分线路发射器，用于与多个所述头通信。

4.根据权利要求3所述的喷射驱动器，其中，

所述图像数据通过所述差分线路发射器以差分信号的形态传送。

5.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，

所述接口板还包括加热器控制器，以及

所述加热器控制器控制设置在所述头内的加热器，以使所述头能够达到目标温度。

6.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，

所述接口板还包括电压控制器，以及

所述电压控制器指定将由所述头使用的多个电压电平。

7.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，

所述接口板还包括电压控制器，以及

所述电压控制器还包括放大器，所述放大器用于生成用于驱动设置于所述头的喷嘴的电压，且所述电压控制器根据所述头的类型来确定是否使用所述放大器。

8.根据权利要求7所述的喷射驱动器，其中，

在所述头是DPN类型的情况下，使用所述放大器，以及

在所述头是DPH类型的情况下，不使用所述放大器。

9.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，

所述图像板通过实时以太网与操作计算机连接，以及

所述图像板向所述操作计算机提供所述喷射驱动器的状态，以使所述操作计算机能够监控所述喷射驱动器。

10.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，

所述图像板和所述接口板通过板对板连接器连接。

11.一种基板处理装置：包括

图案计算机，提供原始图像数据和设定数据；以及

喷射驱动器，基于所述原始图像数据和所述设定数据来控制多个头，

其中，所述喷射驱动器包括彼此物理分离的图像板和接口板，

所述图像板包括FPGA，所述FPGA基于所述原始图像数据将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据，以及

所述接口板包括：

多个差分线路发射器，用于与所述多个头通信；

图像控制器，接收所述图像数据，并向所述多个差分线路发射器提供所述图像数据；

加热器控制器，向所述多个差分线路发射器提供用于控制设置在所述头内的加热器的加热器控制信号；以及

电压控制器，向所述多个差分线路发射器提供用于指定将由所述多个头使用的电压电平的电压控制信号。

12.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，

所述图像板通过实时以太网与操作计算机连接，以及

所述图像板向所述操作计算机提供所述喷射驱动器的状态，以使所述操作计算机能够监控所述喷射驱动器。

13.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，

所述图像板和所述接口板通过板对板连接器连接。

14.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，

所述电压控制器还包括放大器，所述放大器用于生成用于驱动设置于所述头的喷嘴的电压，且所述电压控制器根据所述头的类型来确定是否使用所述放大器。