[发明专利]LCOS显示器及其制作方法

说明书

本发明提供了一种LCOS显示器及其制作方法，所述制作方法包括：提供一硅基底与一玻璃基底，在所述硅基底上形成多个框胶图形，相邻所述框胶图形之间具有切割道，每个所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后组成闭环；将形成有所述框胶图形的所述硅基底与所述玻璃基底进行贴合；根据所述切割道进行切割工艺，分别切割部分厚度的所述硅基底与部分厚度的所述玻璃基底；以及对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺，形成多个由硅基底单元与玻璃基底单元组成的晶盒。在切割过程中若发生透切异常导致产品进水，由于框胶图形是闭环，能够有效阻止水进入晶盒，避免晶盒污染造成的报废，从而提高产品的良率。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及一种LCOS显示器及其制作方法。

背景技术

LCOS(Liquid Crystal on Silicon，液晶附硅)结构是一种新型的反射式投影显示装置，其是采用半导体硅晶技术控制液晶进而“投射”彩色画面。与穿透式LCD(LiquidCrystal Display，液晶显示器)和DLP(Digital Light Procession，数字光投影)结构相比，LCOS结构具有光利用效率高、体积小、开口率高、制造技术成熟等特点，其可以很容易实现高分辨率和充分的色彩表现。上述优点使得LCOS结构在今后的大屏幕显示应用领域具有很大的优势。

图1为现有技术中LCOS显示器的结构示意图。请参考图1所示，现有的LCOS显示器的制作方法一般包括：步骤S1，提供硅基底10与玻璃基底20，例如，所述硅基底和所述玻璃基底上可以形成有电极；步骤S2，在所述硅基底10和所述玻璃基底20上执行取向工艺，从而有利于之后液晶的排布；步骤S3，形成框胶图形30，所述硅基底10和所述玻璃基底20通过所述框胶图形30贴合，请参考图2所示，所述框胶图形30的注入口31为开口模式；步骤S4，进行切割工艺，获得多个一一对应的硅基底单元和玻璃基底单元。由此可获得晶盒，之后再从所述注入口31完成液晶的注入。

然而，在进行切割工艺时，偶发的基底透切异常，会导致产品进水，如图1中的圆圈所示，在切割时所述玻璃基底20发生透切，水会进入产品内，而所述框胶图形30为开口模式，进水异常发生时，水会进入晶盒内，造成晶盒的污染问题，导致大面积产品报废。

发明内容

本发明的目的在于提供一种LCOS显示器及其制作方法，在发生透切异常导致产品进水后，能有效阻止水进入晶盒，避免晶盒污染造成报废，从而提高产品的良率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种LCOS显示器的制作方法，包括以下步骤：

提供一硅基底与一玻璃基底，在所述硅基底上形成多个框胶图形，相邻所述框胶图形之间具有切割道，每个所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后组成闭环；

将形成有所述框胶图形的所述硅基底与所述玻璃基底进行贴合；

根据所述切割道进行切割工艺，分别切割部分厚度的所述硅基底与部分厚度的所述玻璃基底，在所述切割道形成切割缺口；以及

对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺，形成多个由硅基底单元与玻璃基底单元组成的晶盒。

可选的，每个所述框胶图形的注入口的朝向一致。

可选的，所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后与相邻所述框胶图形组成闭环。

可选的，所述框胶图形呈具有注入口的矩形环状。

可选的，通过对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺，所述框胶图形的注入口被打开。

可选的，进行所述裂片工艺之后，所述制作方法还包括：向所述注入口中注入液晶形成液晶层。

可选的，形成所述液晶层之后，所述制作方法还包括：封闭所述注入口。