[发明专利]一种消除小孔打弧风险的离子氮化方法在审

专利信息
申请号: 202210561948.9 申请日: 2022-05-23
公开(公告)号: CN114892123A 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 秦林;梁冠杰;高乐;王玲玲;王琨 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: C23C8/38 分类号: C23C8/38
代理公司: 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 代理人: 杨斌华
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 消除 小孔 风险 离子 氮化 方法
【权利要求书】:

1.一种消除小孔打弧风险的离子氮化方法,其特征在于:包括如下步骤:

第一步,材料预处理,采用常规离子氮化工艺,对材料进行预处理;

第二步,氮化工艺:

在0.9~1.0Tw条件下,Tw:最大渗氮温度,控制氮气和氢气稳定通入,炉内压力控制在300~6000Pa,BP单极脉冲偏压电源的输出电压为0~-1200V,频率范围为40~60kHz,离子氮化2.0~10.0h。

2.根据权利要求1所述的一种消除小孔打弧风险的离子氮化方法,其特征在于:所述氮化工艺参数调节过程:低气压升温阶段→充气阶段→快速渗氮阶段→抽气阶段→低气压升温阶段,如此周而复始,直至渗氮结束;具体过程如下:

(1)低气压时,电压升至最高点-1000~-1200 V,功率到达较高范围,工件温度逐渐升高,称为低气压升温阶段;

(2)温度达到最高点Tw后,迅速降压至-100~-200 V,同时开始快速充气,是充气阶段;

(3)气压至高点,充气完成,使电压调整至-350~-550 V,进入快速渗氮阶段;

(4)由于电源供给功率降低,工件温度缓慢降低,温度降至0.8~0.9 Tw后,迅速降压至-100~-200 V,开始快速抽气,进入抽气阶段;

(5)炉内气压抽到低气压,进入低气压升温阶段;

如此周而复始,直至渗氮结束。

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