[发明专利]光罩版夹取装置

权利要求书

1.一种光罩版夹取装置，用于夹住光罩版，其特征在于，所述光罩版夹取装置包括：

夹块，所述夹块用于卡住所述光罩版的侧边；

锁紧件，所述锁紧件作用于所述夹块，以使所述夹块夹住所述光罩版。

2.如权利要求1所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述夹块包括相对间隔设置的两个夹片，两个所述夹片之间形成容置槽，所述光罩版的侧边插设于所述容置槽，所述锁紧件作用于所述夹片，以使两个所述夹片夹住所述光罩版。

3.如权利要求2所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述锁紧件穿设于两个所述夹片，所述锁紧件用于调整两个所述夹片之间的距离，以使所述夹片夹住或松开所述光罩版。

4.如权利要求3所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述锁紧件的插设位置与所述夹片的端部的距离为L，所述容置槽的深度为H，L与H的比值的范围为1/3-3/5。

5.如权利要求2所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述夹片设有凹槽，所述凹槽自所述夹片的外侧面向内凹陷；

和/或，所述凹槽的深度与所述夹片的厚度之间的比值的范围为1/2-4/5；

和/或，所述凹槽与所述容置槽的底部之间的距离为A，所述容置槽沿的深度为H，A与H的比值的范围为1/6-1/4。

6.如权利要求2所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述光罩版夹取装置还包括防滑件，所述防滑件设于所述夹片与所述夹块之间，所述防滑件贴设于所述夹片的内侧面。

7.如权利要求6所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述防滑件沿所述容置槽的深度方向的长度为B，所述容置槽的深度为H，B与H的比值的范围为1/5-1/4；

和/或，所述防滑件沿所述容置槽的深度方向的长度不大于40mm。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述光罩版夹取装置还包括握持件，所述握持件穿设于所述夹块，通过所述握持件移动所述夹块。

9.如权利要求8所述的光罩版夹取装置，其特征在于，所述夹块设有插孔，所述握持件通过所述插孔穿设于所述夹块；

和/或，所述插孔的横截面为三角形、四边形或五边形的一种，所述握持件的外侧面与所述插孔的内侧面相贴合；

和/或，所述插孔的中心与所述夹块的两个夹片的内侧面的距离相等。

10.如权利要求8所述的光罩版夹取装置，其特征在于，一个所述夹块及一个所述锁紧件组成夹取组件，所述光罩版夹取装置包括多个所述夹取组件，所述握持件穿设于夹取组件，多个所述夹取组件之间间隔设置。