[发明专利]一种银合金键合丝及其制造方法在审
| 申请号： | 202210567250.8 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114657408A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 郑磊;孙君阳;陈周勇 | 申请（专利权）人： | 宁波康强电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C5/06 | 分类号： | C22C5/06;B21C37/04;H01L21/48;H01L23/49 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人： | 洪珊珊 |
| 地址： | 315105 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 键合丝 及其 制造 方法 | ||
1.一种银合金键合丝，其特征在于，包括芯线和包覆在芯线表面的镀金层，所述芯线含有以下质量百分比的组分：10~30%金，0.1~5.0%钯，5~100ppm钙，5~100ppm铈，其余为银；所述镀金层的金含量为芯线中金含量总质量的3~5%。
2.一种如权利要求1所述的银合金键合丝的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）熔铸：将银、金、钯、钙和铈加入到单晶连铸炉中，经过真空熔炼和定向连续引铸得到合金棒材；
（2）拉丝：对合金棒材进行拉丝，在氮气气氛下退火，得到键合丝芯线；
（3）镀金：采用电镀设备在键合丝芯线上包覆镀金层，再次拉丝；
（4）退火：高温退火，冷却得到银合金键合丝。
3.根据权利要求2所述银合金键合丝的制造方法，其特征在于，步骤（1）中真空熔炼的温度为1000~1300℃，连续引铸的拉铸速度为200~300mm/min。
4.根据权利要求2所述银合金键合丝的制造方法，其特征在于，步骤（1）中合金棒材的直径为6~8mm。
5.根据权利要求2所述银合金键合丝的制造方法，其特征在于，步骤（2）中拉丝后键合丝芯线的直径为50~100μm。
6.根据权利要求2所述银合金键合丝的制造方法，其特征在于，步骤（3）中拉丝后获得直径为30~60μm的银合金键合丝。
7.根据权利要求2所述银合金键合丝的制造方法，其特征在于，步骤（2）和步骤（4）中的退火温度均为500~800℃，退火速率均为30~100m/min。
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