[发明专利]光罩版夹取方法在审
| 申请号： | 202210568338.1 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114906531A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 孙宏 | 申请（专利权）人： | 上海图灵智算量子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/12 | 分类号： | B65G7/12;B65G49/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光罩版夹取 方法 | ||
1.一种光罩版夹取方法，用于夹住光罩版，其特征在于，所述光罩版夹取方法包括：
S10：将光罩版夹取装置的夹块卡装至所述光罩版的一个侧边；
S20：利用光罩版夹取装置的锁紧件将所述夹块固定至所述光罩版；
S30：通过所述光罩版夹取装置移动所述光罩版。
2.如权利要求1所述的光罩版夹取方法，其特征在于，所述夹块包括相对间隔设置的两个夹片，两个所述夹片之间形成容置槽，所述光罩版的侧边插设于所述容置槽，步骤S10之前还包括：调节所述锁紧件，以使所述夹块的容置曹的宽度大于所述光罩版的厚度。
3.如权利要求2所述的光罩版夹取方法，其特征在于，所述光罩版夹取装置还包括防滑件，所述防滑件设于所述夹片与所述夹块之间，所述防滑件贴设于所述夹片的内侧面，步骤S10还包括：所述光罩版的侧边与所述防滑件的边缘相对齐。
4.如权利要求1所述的光罩版夹取方法，其特征在于，步骤S10还包括：所述光罩版夹取装置包括多个所述夹块，多个所述夹块顺次间隔卡装至所述光罩版的一个侧边。
5.如权利要求1所述的光罩版夹取方法，其特征在于，步骤S20还包括：所述光罩版夹取装置包括多个与所述夹块相应设置的所述锁紧件，多个所述锁紧件将相应的所述夹块固定至所述光罩版。
6.如权利要求1所述的光罩版夹取方法，其特征在于，所述光罩版夹取装置还包括握持件，所述握持件穿设于所述夹块，步骤S30还包括：通过所述握持件移动所述夹块。
7.如权利要求6所述的光罩版夹取方法，其特征在于，步骤S10还包括：所述握持件穿入所述夹块的插孔。
8.如权利要求6所述的光罩版夹取方法，其特征在于，步骤S30还包括：所述握持件穿入所述夹块的插孔。
9.如权利要求6所述的光罩版夹取方法，其特征在于，所述握持件穿入所述夹块的插孔后，利用固定件将所述握持件与所述夹块固定。
10.如权利要求1-9中任意一项所述的光罩版夹取方法，其特征在于，所述光罩版包括短侧边及长侧边，步骤S10中，将光罩版夹取装置的夹块卡装至所述光罩版的长侧边。
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