[发明专利]一种应用于金属表面的复合薄膜及其制备方法、金属制品

权利要求书

1.一种应用于金属表面的复合薄膜，其特征在于，所述复合薄膜包括：

金属氧化物网络骨架；以及

氧化铝薄膜，用于在所述金属氧化物网络骨架的内部及表面形成第一保护层。

2.根据权利要求1所述的应用于金属表面的复合薄膜，其特征在于，所述金属氧化物网络骨架的厚度为20～60nm。

3.根据权利要求1所述的应用于金属表面的复合薄膜，其特征在于，所述金属氧化物网络骨架包括氧化铝网络骨架、氧化锆网络骨架和氧化镓网络骨架中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的应用于金属表面的复合薄膜，其特征在于，所述金属氧化物网络骨架为氧化铝网络骨架。

5.根据权利要求1～4任一项所述的应用于金属表面的复合薄膜，其特征在于，所述复合薄膜还包括：

氧化钛薄膜，用于在所述氧化铝薄膜表面形成第二保护层。

6.一种权利要求1～5任一项所述的应用于金属表面的复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

以金属有机化合物和乙二醇作为前驱体，通过原子层沉积工艺得到聚(金属-乙二醇)薄膜；

将所述聚(金属-乙二醇)薄膜加热分解，得到金属氧化物网络骨架；

将铝源和水通过原子层沉积工艺沉积在所述金属氧化物网络骨架的内部及表面，得到氧化铝薄膜；

将钛源和水通过原子层沉积工艺沉积在所述氧化铝薄膜的表面，得到氧化钛薄膜。

7.根据权利要求6所述的应用于金属表面的复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述金属有机化合物包括烷基铝、四二甲氨基锆、烷基镓；所述钛源包括四氯化钛、四二甲氨基钛，异丙醇钛；所述铝源包括烷基铝。

8.根据权利要求6所述的应用于金属表面的复合薄膜的制备方法，其特征在于，复合薄膜制备过程中的温度不超过300℃。

9.一种金属制品，其特征在于，所述金属制品包括金属基底，以及在所述金属基底的至少部分表面的权利要求1～5任一项所述的应用于金属表面的复合薄膜。

10.根据权利要求9所述的金属制品，其特征在于，所述金属制品包括贵金属纪念制品。